|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Simulation of ion beam sputtering with OKSANA and SRIM: A comparative studyстатья
- Автор: Shulga V.I.
- Журнал: Vacuum
- Том: 230
- Год издания: 2024
- Издательство: Elsevier Ltd
- Местоположение издательства: London
- Первая страница: 113644
- DOI: 10.1016/j.vacuum.2024.113644
- Добавил в систему: Шульга Владимир Иванович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | shulga_Vacuum_2024.pdf | 4,6 МБ | 12 ноября 2024 [ShulgaVI] |