|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Kinetics of Chemical Changes in Phenol Formaldehyde Based Polymeric Films Etched in N<sub>2</sub>O and O<sub>2</sub>Inductively Coupled Plasmas: A Comparative Studyстатья
- Авторы: Kwon Kwang-Ho, Nam-Ki Min, Seung-Youl Kang, Kyu-Ha Baek, Soo Suh Kyung, Alexandrovich Shutov Dmitriy
- Журнал: Japanese Journal of Applied Physics
- Том: 48
- Номер: 8
- Год издания: 2009
- Издательство: Institute of Pure and Applied Physics
- Местоположение издательства: Japan
- Первая страница: 08HA02
- Последняя страница: 08HA02
- DOI: 10.1143/jjap.48.08ha02
- Добавил в систему: Шутов Дмитрий Александрович