|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Томография трёхслойных наноструктур в сканирующей электронной микроскопии в режиме детектирования обратнорассеянных электроновстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Борзунов А.А., Рау Э.И., Зайцев С.В., Кошев Н.А., Лукьяненко Д.В., Ягола А.Г.
- Журнал: Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
- Том: 79
- Номер: 5
- Год издания: 2024
- Издательство: Изд-во Моск. ун-та
- Местоположение издательства: М.
- Номер статьи: 2450101
- DOI: 10.55959/MSU0579-9392.79.2450101
- Аннотация: В работе предлагается метод решения трёхмерной задачи томографии с использованием данных сканирующего электронного микроскопа в режиме детектирования рассеянных электронов. Исходя из предположения, что образец обладает трёхслойной структурой, построены аналитические выражения для зависимости интенсивности детектируемого сигнала от химического состава образца, толщин слоёв и энергии первичных электронов. На основе полученных аналитических выражений на примере трехслойной (алюминий-золото–кремний) структуры решается обратная задача по восстановлению толщин слоёв алюминия и золота в двух различных постановках, отличающихся между собой типом используемой априорной информации о структуре образца.
- Добавил в систему: Борзунов Андрей Анатольевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | 2450101.pdf | 377,6 КБ | 25 октября 2024 [Lukyanenko] |