Аннотация:Методом плазменного напыления сверхзвуковой струей в разреженной атмосфере получены однослойные покрытия из оксида гафния и двухслойные покрытия с промежуточным слоем никеля общей толщиной 70 мкм. С целью формирования наноструктурного покрытия использовали сопло с насадком, реализующее веер волн разрежения Прандтля–Майера. Для исследования покрытий использованы методы ядерного обратного рассеяния протонов с энергией 7.6 МэВ, растровой электронной микроскопии, рентгеновского микроанализа и рентгеновской дифракции. Исследование поверхности и поперечного шлифа покрытий показало, что наряду с деформированными частицами напыляемого порошка размером более 20 мкм покрытие содержит слои и конгломераты наночастиц размером 30–60 нм. Профилирование элементного состава по глубине методом спектрометрии ядерного обратного рассеяния протонов показало наличие переходных слоев на границе раздела между подложкой и слоями покрытия, характеризующих средний размер микрочастиц в покрытии. Сопоставление толщин, определенных двумя методами, позволило оценить общую пористость слоя оксида гафния. По данным рентгеновской дифракции в покрытиях формируются кубическая и моноклинная фазы оксида гафния с высокой долей аморфной составляющей.