Аннотация:Работа посвящена совершенствованию зондовых методик в условиях промежуточных давлений. Приводится объяснение экспериментальных фактов завышения значенийтемпературы заряженных частиц и их плотностейпри их обработке традиционными методами. Показано, что пренебрежение учётом столкновенийзаряженных частиц в слое зонда приводит к завышению плотности ионов более чем в три раза, а температуры частиц — в девять раз. Для коррекции величины температуры предложена методика графического вычитания. Для уточнения плотности частиц в столкновительном режиме предлагается проводить расчёты в области малых потенциалов 0