|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Горячие углеродные наночастицы в объеме плазмы при плазмохимическом осаждении алмазных пленокстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Кириллов Е.А., Минаков П.В., Лопаев Д.В., Рахимов А.Т.
- Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
- Том: 51
- Номер: 9
- Год издания: 2025
- Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 35
- Последняя страница: 37
- DOI: 10.61011/PJTF.2025.09.60230.20225
- Аннотация: Показано, что возникновение непрерывного планковского спектра в эмиссионном спектре СВЧ-плазмы (при плазмохимическом осаждении алмазных пленок) может быть связано с образованием углеродных наночастиц в ее объеме. По спектру, зарегистрированному в ближнем инфракрасном диапазоне длин волн, определена температура этих частиц ~2600±100 K. Полученные результаты указывают на возможность существования углеродных наночастиц в горячей зоне плазмы. Ключевые слова: CVD-алмаз, плазмохимическое осаждение, углеродные наночастицы, спектроскопия плазмы.
- Добавил в систему: Минаков Павел Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|