Пространственное распределение параметров плазмы в индуктивном источнике плазмы с переменным радиусомтезисы доклада

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ В ИНДУКТИВНОМ ИСТОЧНИКЕ ПЛАЗМЫ С ПЕРЕМЕННЫМ РАДИУСОМ Kazan_petrov_red.doc 2,0 МБ 9 декабря 2014 [AlPetrov57]