|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Биоспецифические и локальные сенсоры на основе полевых транзисторов с каналом-нанопроводом из кремния на изоляторетезисы доклада
- Авторы: Преснов Д.Е., Преснова Г.В., Рубцова М.Ю., Божьев И.В., Дорофеев А.А., Дагесян С.А., Трифонов А.С., Снигирёв О.В., Крупенин В.А.
- Сборник: Тезисы докладов XIII Российской конференция по физике полупроводников, 2 – 6 октября 2017г., Екатеринбург, Россия
- Тезисы
- Год издания: 2017
- Место издания: ИФМ УрО РАН г. Екатеринбург
- Первая страница: 412
- Аннотация: В настоящей работе представлены результаты экспериментальных исследований полевых транзисторов с каналом нанопроводом из КНИ с толщиной верхнего кремниевого слоя 110 нм, изготовленных традиционными для полупроводниковой электроники методами электронной литографии и реактивно-ионного травления.
- Добавил в систему: Крупенин Владимир Александрович