ТЕРМООКСИДИРОВАНИЕ GAAS С УЧАСТИЕМ СУЛЬФАТА ТИТАНИЛАстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 февраля 2016 г.
Аннотация:Исследована кинетика термического окисления арсенида галлия в кислороде при введении в систему сульфата титанила. Установлено, что образующиеся при разложении активатора оксиды титана и серы участвуют в процессе, существенно ускоряя его, особенно при низких температурах. Формирующиеся слои включают в свой состав титан и серу.