|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Вычисления распределений по глубине энергии и заряда, выделенных при облучении мишени электронным пучком, в приближении дискретных потерьстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
- Авторы: Борисов СС, Грачев ЕА, Зайцев СИ
- Журнал: Прикладная физика
- Номер: 1
- Год издания: 2007
- Издательство: [б.и.]
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 50
- Последняя страница: 54
- Аннотация: Рассмотрена проблема моделирования распределения выделенных в процессе облучения образца электронным пучком энергии (дозы облучения) и заряда. Сравниваются результаты, полученные методом Монте-Карло в приближении дискретных и непрерывных потерь. Получены аналитические выражения для распределений глубина- доза и глубина-заряд для Si, Аи, Ag, Си, GaN.
- Добавил в систему: Грачев Евгений Александрович