Experimental Study of Patterns of Energy Input into Hybrid Low Pressure Discharge for Varying RF Generator Power and Argon Pressureстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 января 2015 г.