|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
E-BEAM TOMOGRAPHY OF PLANAR SEMICONDUCTOR STRUCTURESстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus,
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 23 ноября 2017 г.
- Авторы: Rau E.I., Yakimov E.B.
- Журнал: Materials Science and Engineering B
- Том: 42
- Номер: 1-3
- Год издания: 1996
- Первая страница: 52
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович