|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Optimizing Annular Semiconductor Detectors of Back Scattered Electrons in SEMстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 19 сентября 2015 г.
- Авторы: Zaitsev S.V., Kupreenko S.Yu, Luk’yanov A.E., Rau E.I.
- Журнал: Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
- Том: 78
- Номер: 9
- Год издания: 2014
- Издательство: Allerton Press Inc.
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 839
- Последняя страница: 845
- DOI: 10.3103/S1062873814090330
- Аннотация: Abstract—Characteristics of a various annular detectors of back scattered electrons (BSEs) in scanning elec tron microscopes (SEMs) are analyzed. Modified configurations of detectors that substantially improve their efficiency are proposed (e.g., using rings with variable width and arranged perpendicular to the incident flux of BSEs).
- Добавил в систему: Купреенко Степан Юрьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Статья | Bulletin_of_the_Russian_Academy_of_Sciences._Physics_2014_V… | 696,0 КБ | 6 сентября 2016 [KupreenkoSU] |