Аннотация: Проведено исследование образцов алмазоподобных углеродных покрытий, легированных хромом, полученные с помощью технологии магнетронного распыления в различных активных газовых средах. Фазовый состав и субструктура покрытий исследовались методами рентгеновской дифракции. Были установлены микромеханические и трибологические характеристики покрытий и проанализирована их связь со структурой покрытий.
Samples of diamond-like carbon coatings alloyed with chromium, obtained using magnetron sputtering in various active gas environments, were investigated. Phase composition and substructure of coatings were explored using X-ray diffraction method. Micromechanical and tribological characteristics of coatings were established, correlation between them and structure of coatings was analyzed.