Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Гибкая автоматизация в производстве изделий микроэлектроники
тезисы доклада
Авторы:
Рахманкулов В.З.
,
Славинский З.М.
,
Михайлов А.М.
,
Переслени С.А.
Сборник:
Современные вопросы физики и приложения. Всесоюзная конференция (Москва, 15—17 апреля 1984 г.): Тезисы докладов и сообщений
Тезисы
Год издания:
1984
Место издания:
Ин-т общей физики АН СССР Москва
Первая страница:
57
Добавил в систему:
Осадченко Николай Владимирович