Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D2–O2статья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 октября 2018 г.