Осаждение микрокристаллических алмазных пленок в СВЧ плазме на подложках с полимерным прекурсоромстатья
-
Авторы:
Седов В.С.,
Ральченко В.Г.,
Сизов А.И.,
Звукова Т.М.,
Власов И.И.,
Булычев Б.М.,
Конов В.И.,
Савин С.С.,
Совык Д.Н.,
Хомич А.А.
-
Сборник:
Сбрник трудов МИРЭА "Материалы VII Международной научно-технической конференции "INTERMATIC -2010".Москва, МИРЭА, 23-27 ноября 2010г
-
Том:
2
-
Год издания:
2010
-
Место издания:
МИРЭА Москва
-
Первая страница:
79
-
Последняя страница:
82
-
Добавил в систему:
Звукова Тамара Михайловна