|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Особенности гибридного высокочастотного разряда низкого давлениястатья
- Авторы: Неклюдова П.А., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И., Никонов А.М.
- Журнал: Прикладная физика и математика
- Номер: 5
- Год издания: 2017
- Издательство: Общество с ограниченной ответственностью Издательство Научтехлитиздат
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 25
- Последняя страница: 33
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна