|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Электронно-лучевые технологии модификации биполярных полупроводниковых приборов на ускорителяхтезисы доклада Исследовательская статья
- Авторы: Павлов Ю.С., Сурма А.М., Лагов П.Б., Фоменко Ю.Л., Гейфман Е.М.
- Сборник: II Международная конференция "Плазменные, лазерные исследования и технологии": Сборник научных трудов
- Редактор: Filippov E.D.
- Серия: Конференция ЛаПлаз
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Издательство: НИЯУ МИФИ
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 181
- Последняя страница: 181
- Аннотация: Реализованы радиационно-технологические процессы модификации статических и динамических характеристик кремниевых биполярных приборов различных классов на различные рабочие токи (от единиц мА до десятков кА) и напряжения (от единиц В до 8 кВ): силовые диоды и тиристоры, СВЧ биполярные и БТИЗ-транзисторы, импульсные диоды, прецизионные стабилитроны (всего более 50 типономиналов), выпускаемые различными отечественными предприятиями. Модификация обусловлена формированием в приборных структурах электрически активных и стабильных в области рабочих температур субнаноразмерных центров рекомбинации. Технологии осуществляются на воздухе с высокой производительностью и управляемостью, являются альтернативными термодиффузионному легированию (Au, Pt) и обработке легкими ионами.
- Добавил в систему: Павлов Юрий Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | SBOR_PLIT_final.pdf | 1,7 МБ | 6 декабря 2018 [lagov2000] |