Волновая структура, возбуждаемая в плазме цилиндрического индуктивного источника с внешним магнитным полемстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Экспериментально показано, что при достижении ВЧ-генератором мощности 500 Вт и
магнитных полях более 10 Гс в цилиндрическом индуктивном источнике плазмы с внешним
магнитным полем формируется волновая структура. В области расположения антенны
продольная составляющая ВЧ магнитного поля достигает максимума у стенок источника
плазмы, в то время как на расстояниях от антенны более 10 см максимум поля наблюдается
на оси источника. Одновременно по мере удаления от антенны формируется явно выражен-
ный пик радиального распределение зондового ионного тока насыщения на оси источника
плазмы.