|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Picosecond laser structuring of monocrystalline silicon surfaceстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 апреля 2015 г.
- Авторы: Guk I., Shandybina G., Yakovlev E., Golovan L.
- Сборник: Proceedings of SPIE
- Том: 9065
- Год издания: 2013
- Издательство: SPIE
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Первая страница: 90650R-1
- Последняя страница: 90650R-7
- DOI: 10.1117/12.2053549
- Аннотация: Представлены результаты исследования поляритонного механизма микроструктурирования кремния при его облучении пикосекундными импульсами в ближнем инфракрасном диапазоне.
- Добавил в систему: Головань Леонид Анатольевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | 90650R.pdf | 580,6 КБ | 28 апреля 2015 [lgolovan] |