Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в D2, Ne и их смесяхтезисы доклада
-
Авторы:
Буховец В.Л.,
Городецкий А.Е.,
Залавутдинов Р.Х.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Архипушкин И.А.,
Казанский Л.П.,
Рыбкина Т.В.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Мухин Е.Е.
-
Сборник:
XXI Конференция «Взаимодействие плазмы с поверхностью»
-
Тезисы
-
Год издания:
2018
-
Издательство:
НИЯУ МИФИ
-
Местоположение издательства:
Москва
-
Первая страница:
31
-
Последняя страница:
32
-
Добавил в систему:
Залавутдинов Ринад Харисович