Применение электронного облучения для электрической активации и разгонки имплантированного бора в кремнии

Авторы: Лагов П.Б., Дренин А.С., Манякина Д.С.
Журнал: Вопросы атомной науки и техники. Серия: физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру
Номер: 3
Год издания: 2012
Издательство: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт приборов"
Местоположение издательства: Лыткарино
Первая страница: 51
Последняя страница: 53
Аннотация: Проведено экспериментальное исследование эффективности применения облучения быстрыми электронами с энергией 5 МэВ при повышенной плотности потока для электрической активации и «разгонки» ионов бора, имплантированных в кремний n-типа
Добавил в систему: Лагов Петр Борисович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА