Радиационная обработка кремниевых pin структур с различной толщиной i-слоя

Авторы: Лагов П.Б., Дренин А.С., Роговский Е.С., Руднев С.В.
Журнал: Вопросы атомной науки и техники. Серия: физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру
Номер: 1
Год издания: 2012
Издательство: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт приборов"
Местоположение издательства: Лыткарино
Первая страница: 76
Последняя страница: 78
Аннотация: Исследовано влияние обработки ускоренными электронами с энергией 5 МэВ и последующего низкотемпературного термического отжига на статические и динамические параметры кремниевых p-i-n-структур с различной толщиной i-слоя, используемых для изготовления переключательных диодов СВЧ-диапазона длин волн.
Добавил в систему: Лагов Петр Борисович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА