Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 сентября 2019 г.
Аннотация:Показано, что ориентация поверхностного рельефа в виде одномерных решеток с периодом 1.20±0.02 мкм, формируемого при обработке пленок аморфного гидрогенизированного кремния фемтосекундными лазерными импульсами (1.25 мкм) с плотностью энергии 0.15 Дж/см^2, определяется направлением вектора поляризации использованного излучения и совокупной дозой экспозиции. В облученных областях пленок зарегистрировано присутствие нанокристаллической фазы кремния, объемная доля которой, в зависимости от условий обработки, составляет от 15 до 67% согласно результатам анализа спектров комбинационного рассеяния света. Наблюдаемые процессы микро- и наноструктурирования обусловлены, соответственно, возбуждением поверхностных плазмон-поляритонов и нанокристаллизацией в приповерхностной области в поле мощных фемтосекундных лазерных импульсов. Кроме того, обнаружено формирование полиморфных модификаций кремния Si-III и Si-XII при фемтосекундной лазерной обработке с числом импульсов излучения более 500, а также зарегистрирована анизотропия сигнала комбинационного рассеяния света для данных полиморфных модификаций.