Аннотация:В пособии приведены основные положения физики взаимодействия ионов с материалами, теории и закономерности распыления материалов и практические применения этого явления. Пособие предназначено для студентов и аспирантов, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных технологий, может быть также полезным для специалистов и инженеров, связанных с вопросами взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, разработкой методов обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники, в том числе в задачах ядерного, термоядерного и аэрокосмического материаловедения.