|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Лазерный синтез сенсорных пленок на основе диоксида оловакнига
- Автор: Анатолий Шатохин
- Год издания: 2012
- Место издания: Lambert Academic Publishing Germany
- Объём: 131 страниц
- ISBN: 978-3-8465-1285-2
- Аннотация: В книге представлены результаты исследований по лазерному синтезу полупроводниковых пленок на основе диоксида олова для газовых сенсоров, изучению влияния структуры, состава и энергетических параметров плазмы легирующих металлов на электрофизические характеристики, определяющие газочувствительность пленок. Актуальность данной работы обусловлена не только широким распространением метода лазерной абляции для синтеза пленок, но и практическим применением сенсоров на основе диоксида олова для детектирования токсичных и взрывоопасных газов. Проведен анализ литературы по экспериментальным и теоретическим исследованиям лазерной плазмы, методам лазерного синтеза оксидных пленок и модификации поверхностных свойств материалов при плазменном и ионном воздействии, приведены основные результаты экспериментов по электростатическому зондированию и измерению зарядового состава и структуры лазерной плазмы Pd и Pt, морфологии, профилей распределения легирующих металлов по толщине пленок SnO2, SnO2(Pd), SnO2(Pd,Cu) и SnO2(Pt).Книга может быть полезна для преподавателей, научных сотрудников, аспирантов, студентов старших курсов специализирующихся в области физики и химии твердого тела.
- Добавил в систему: Шатохин Анатолий Николаевич