Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастиами

Степанов, А.Л.; Нуждин, В.И.; Рогов, А.М.; Воробъев, В.В.

Авторы: Степанов А.Л., Нуждин В.И., Рогов А.М., Воробъев В.В.
Год издания: 2019
Место издания: ФИЦПРЕСС Казань
Объём: 188 страниц (15,0 печатных листов)
ISBN: 978-5-94469-044-9
Тираж: 300 экз.
Академическое издание
Аннотация: Монография посвящена научным фундаментальным и технологическим проблемам субмикро- и нанофизики, связанным с разработкой новых функциональных материалов из тонких пористых полупроводниковых слоев с включениями металлических наночастиц, а также установлению закономерностей целенаправленного изменения физико-химических свойств таких сред при их формировании. Конкретная цель представляемой работы заключается в исследовании наноструктурированных материалов, получаемых по новой недавно разработанной и запатентованной авторами монографии методике формирования слоев пористых полупроводников с металлическими наночастицами базирующееся на оригинальной технологии низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами металла поверхности аморфного и монокристаллического Si и Ge. В монографии представлены новые экспериментальные результаты, полученные ходе выполнения проекта Российского научного фонда по синтезу наночастиц благородных и переходных металлов в структуре пористого Si, Ge и GeSi, формирующихся одновременно с порами в поверхностном слое исходных подложек при их ионном облучении. Монография представляет интерес для специалистов, работающих в области физики наноматериалов, а также для студентов университетов и аспирантов соответствующих специальностей.
Добавил в систему: Степанов Андрей Львович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ИНХС РАН

Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастиамикнига

Прикрепленные файлы