Аннотация:Пособие посвящено вопросам практического применения некоторых современных методов анализа материалов микро- и наноэлектроники и фотоники, содержит семь лабораторных работ. Каждая работа состоит из краткой теоретической части, дающей представление о принципах и возможностях метода, и экспериментальной части, содержащей описание оборудования и порядка выполнения работы. Рассмотрены термические, рентгенографические, кристаллооптические и спектральные методы анализа, показана возможность их совместного использования для всестороннего анализа характеристик материалов.
Предназначено для студентов профиля «Технология материалов и изделий электронной техники и наноэлектроники» направления подготовки «Химическая технология», а также для аспирантов и исследователей в области материаловедения.