|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Моделирование процессов лазерного синтеза металл-полупроводниковых материалов.отчет
- Авторы: Шатохин А.Н., Демидов А.В., Путилин Ф.Н., Румянцева М.Н., Трубников Д.Н.
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Подразделение: Кафедра лазерной химии
- Номер: 108-24(00)-П (МН-856/01)
- Год выпуска: 2001
- Количество страниц: 29
-
Аннотация:
Приведены результаты моделирования процессов осаждения,имплантации легирующих металлов (Pd, Pt,Cu) на полупроводниковые пленки SnO2 с помощью программного пакета SRIM-TRIM
- Добавил в систему: Шатохин Анатолий Николаевич