Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
Сологуб В.А.
Соавторы:
Айрапетов А.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Петров А.К.
,
Александров А.Ф.
,
CHURILOV A.
,
Metlitskaya A.
,
Кулова Т.Л.
показать полностью...
,
Мироненко А.А.
,
Пухов Д.Э.
,
Скундин А.М.
,
Федоров И.С.
,
Никольская Н.Ф.
,
Rudoy A.N.
,
Rudy A.S.
,
Васильев С.В.
,
Одиноков В.В.
,
Павлова Г.А.
,
Gerashchenko V.N.
,
Mazaletskii L.A.
,
Moshkovskii S.A.
,
Геращенко В.Н.
,
Дюжев Н.А.
,
Мазалецкий Л.А.
,
Московский Никольская С.Б.
13 статей
,
3 доклада на конференциях
,
1 тезисы доклада
,
1 патент
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 4, Scopus: 9
IstinaResearcherID (IRID): 12233782
Деятельность
Статьи в журналах
2018
Plasma Parameters in the Reactor with Simultaneous Magnetron Discharge and Inductive Radio-Frequency Discharge in the Presence of External Magnetic Field
Aleksandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kral’kina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Journal of Communications Technology and Electronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 63, № 4, с. 374-380
DOI
2018
Параметры плазмы в реакторе, совмещающем магнетронный разряд и индуктивный высокочастотный разряд во внешнем магнитном поле
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
Радиотехника и электроника
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 63, № 4, с. 364-371
2017
Formation of nanosized coatings in hybrid plasma reactor combining magnetron or arc deposition with RF plasma assistance
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Сологуб В.А.
,
Айрапетов А.А.
,
Дюжев Н.А.
в журнале
Materials Science Forum
, издательство
TRANS TECH PUBLICATIONS LTD
(LAUBISRUTISTR 24, STAFA-ZUERICH,SWITZERLAND, CH-8712)
, том 900, с. 137-140
DOI
2016
Hybrid plasma system for magnetron deposition of coatings with ion assistance
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 669, № 012033
DOI
2016
Investigation of the helicon discharge plasma parameters in a hybrid RF plasma system
Aleksandrov A.F.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Ayrapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Sologub V.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 3, с. 290-292
DOI
2016
Thin Film Negative Electrode Based on Silicon Composite or Lithium-Ion Batteries
Airapetov A.A.
, Vasiliev S.V.,
Kulova T.L.
, Lebedev M.E.,
Metlitskaya A.V.
,
Mironenko A.A.
,
Nikol’skaya N.F.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Pukhov D.E.
,
Rudyi A.S.
,
Skundin A.M.
,
Sologub V.A.
,
Fedorov I.S.
,
Churilov A.B.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 45, № 4, с. 285-291
2016
Thin-film positive electrode based on vanadium oxides for lithium-ion accumulators
Vasil’ev S.V.,
Gerashchenko V.N.
,
Kulova T.L.
, Lebedev M.E.,
Mazaletskii L.A.
,
Metlitskaya A.V.
,
Mironenko A.A.
,
Moskovskii S.B.
,
Nikol’skaya N.F.
,
Pukhov D.E.
,
Rudyi A.S.
,
Skundin A.M.
,
Sologub V.A.
,
Fedorov I.S.
,
Churilov A.B.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 45, № 5, с. 335-344
2016
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в макете ВЧ гибридной плазменной системы
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. Физика плазмы
, том 45, № 6, с. 471-479
DOI
2016
Влияние плазмы геликонного разряда на структуру тонких пленок при магнетронном распылении
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в журнале
Вакуумная техника и технология
, № №1
2016
Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, том 2, № 64, с. 74-86
2016
Тонкоплёночный отрицательный электрод на основе композита кремния для литий-ионных аккумуляторов
Айрапетов А.А.
,
Васильев С.В.
,
Кулова Т.Л.
, Лебедев М.Е.,
Метлицкая А.В.
,
Мироненко А.А.
,
Никольская Н.Ф.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Пухов Д.Э.
,
Рудый А.С.
,
Скундин А.М.
,
Сологуб В.А.
,
Федоров И.С.
,
Чурилов А.Б.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 45, № 3, с. 305-312
2016
Тонкоплёночный положительный электрод на основе оксидов ванадия для литий-ионных аккумуляторов
Васильев С.В.
,
Геращенко В.Н.
,
Кулова Т.Л.
, Лебедев М.Е.,
Мазалецкий Л.А.
,
Метлицкая А.В.
,
Мироненко А.А.
,
Московский Никольская С.Б.Н.Ф
,
Пухов Д.Э.
,
Рудый А.С.
,
Скундин А.М.
,
Сологуб В.А.
,
Федоров И.С.
,
Чурилов А.Б.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 45, № 5, с. 365-375
2015
Исследование параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 3, с. 25-28
Доклады на конференциях
2016
ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА НА СТРУКТУРУ ТОНКИХ ПЛЁНОК ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ
(Устный)
Авторы:
Сологуб В.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
23-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016»
, Россия, 7-9 июня 2016
2016
Гибридная плазменная система с источником геликонного разряда
(Устный)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
XI международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология»
, Москва, КВЦ «Сокольники», Россия, 12-14 апреля 2016
2015
Гибридная плазменная система для магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
, Россия, 4-7 ноября 2015
Тезисы докладов
2016
ГИБРИДНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ИОННЫМ АССИСТИРОВАНИЕМ //
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в сборнике
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей
, место издания
Отечество Казань
, тезисы, с. 19-22
Патенты
2018
Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур
Авторы:
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
,
Одиноков В.В.
,
Бирюков М.Г.
,
Айрапетов А.А.
,
Павлов В.Б.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Петров А.К.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Карпенкова Е.В.
, Гусева Н.Б.
#2670249, 19 октября