ИСТИНА

Спорыхин А.А.

Соавторы: Савинов В.П., Рябый В.А., Якунин В.Г.

4 статьи, 7 патентов

IstinaResearcherID (IRID): 14849625

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 1996 Электрические пробои МОП структур – важнейший фактор плазменной деградации микроэлектронных чипов
    • Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 25, № 2, с. 127-134
  • • 1996 Электрические пробои МОП- структур - важнейший фактор плазменной деградации микроэлектронных чипов
    • Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • в журнале Гетеромагнитная микроэлектроника, том 25, № 2, с. 127-134
  • • 1995 Об экспериментальной оценке электростатического напряжения, возникающего на МОП- структурах при плазменной обработке
    • Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • в журнале Труды Физико-технологического института, издательство Физико-технологический институт РАН (Москва), № 10, с. 150-157
  • • 1995 Об экспериментальной оценке электростатического напряжения, возникающего на МОП-структурах при плазменной обработке
    • Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • в журнале Труды физико-технического института АН, № 10, с. 150

• Патенты

  • • 2000 Способ плазмохимической обработки подложек и устройство для его осуществления.
    • Авторы: Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Ли Х.Дж
    • #Пат. РФ № RU2178219, 21 ноября
  • • 1992 Плазмохимический реактор баррельного типа
    • Авторы: Киреев В.Ю., Ковалевский В.Л., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • #Пат. РФ № RU2024990 C1, 5H01L 21/302, 1992, 23 марта
  • • 1988 Плазмохимический реактор
    • Авторы: Бояршинов Ю.А., Ермолова Н.А., Маляров А.В., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • #А.С. СССР № 1609392, 5H01L 21/302, 17 июня
  • • 1987 Плазмохимический реактор
    • Авторы: Бояршинов Ю.А., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А.
    • #А.С. СССР №1524739, 26 июня
  • • 1987 Способ контроля параметров плазмы низкого давления в высокочастотном емкостном разряде
    • Авторы: Ковалевский В.Л., Кузовников А.А., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • #А.С. СССР № 1531827, H01L 21/00, 26 июня
  • • 1986 Способ плазмохимического удаления органических соединений с поверхности полупроводниковых пластин.
    • Авторы: Воробьёв В.В., Кондаков М.И., Маляров А.В., Мартынова Т.С., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • #А.С. СССР № 1429842, H01L 21/306, 25 сентября
  • • 1986 Установка для плазмохимической обработки материалов
    • Авторы: Бояршинов Ю.А., Малярова М.А., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Хурошвили Ш.Г., Якунин В.Г.
    • #А.С. СССР №1463115, H01L 21/00, 1 августа