ИСТИНА

Киреев В.Ю.

Соавторы: Дедкова А.А., Djuzhev N.A., Дюжев Н.А., Лычев С.А., Glagolev P.Y., Glagolev P.Y., Gusev E.E., Бакун А.Д., Грязнева Т.А., Гусев Е.Э., Кириленко Е.П., Клементе И.Э., Мазуркин Н.С. показать полностью..., Махиборода М.А., Мигунов Д.М., Митько С.В., Мысливец А.С., Мяконьких А.В., Никифоров М.О., Патюков Н.Н., Преснухина А.А., Розель П.А., Товарнов Д.А., Трифонов А.Ю.

8 статей, 3 патента

IstinaResearcherID (IRID): 14850344

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2022 Peculiarities of deformation of round thin-film membranes and experimental determination of their effective characteristics
    • Dedkova A.A., Glagolev P.Y., Gusev E.E., Djuzhev N.A., Kireev V.Y., Lychev S.A., Tovarnov D.A.
    • в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 92, № 13 DOI
  • • 2021 Особенности деформирования круглых тонкопленочных мембран и экспериментальное определение их эффективных характеристик
    • Дедкова А.А., Глаголев П.Ю., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю., Лычев С.А., Товарнов Д.А.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 91, № 10, с. 1454-1465 DOI
  • • 2020 Возможности и ограничения метода контактной профилометрии при определении перепада высот для контроля топологических элементов и толщины слоев
    • Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Махиборода М.А.
    • в журнале Наноструктуры. Математическая физика и моделирование, том 20, № 2, с. 23-40 DOI
  • • 2019 Исследование возможности получения структур с нанометровыми толщинами слоев и резкими границами раздела между ними с помощью процессов ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого осаждения
    • Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Мысливец А.С., Розель П.А., Трифонов А.Ю.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 14, № 5-6, с. 50-55 DOI
  • • 2019 Исследования островковых пленок нитрида галлия на сапфировых подложках методами растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии
    • Дедкова А.А., Никифоров М.О., Митько С.В., Киреев В.Ю.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 14, № 3-4, с. 93-100 DOI
  • • 2018 Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра
    • Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Мазуркин Н.С.
    • в журнале Нано- и микросистемная техника, том 20, № 9, с. 521-527 DOI
  • • 2018 Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения
    • Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю., Клементе И.Э., Мяконьких А.В., Руденко К.В.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 13, № 9-10, с. 51-57 DOI
  • • 2017 Изготовление и исследование параметров и свойств наноструктурированных мембран для МЭМС-приборов
    • Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Грязнева Т.А., Дедкова А.А., Дронова Д.А., Киреев В.Ю., Кириленко Е.П., Мигунов Д.М., Новиков Д.В., Патюков Н.Н., Преснухина А.А., Бакун А.Д., Ермаков Д.С.
    • в журнале Российские нанотехнологии, издательство Парк-медиа (М.), том 12, № 7-8, с. 97-106 DOI

• Патенты

  • • 2021 Способ определения механических свойств тонкопленочных мембран, сформированных над круглыми отверстиями
    • Авторы: Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Беспалов В.А., Переверзев А.Л.
    • #2758417, 28 октября
  • • 2021 Способ эллипсометрического контроля топографического рельефа, механических напряжений и дефектности пленок на подложках
    • Авторы: Дедкова А.А., Киреев В.Ю., Беспалов В.А., Переверзев А.Л.
    • #2744821, 16 марта
  • • 1992 Плазмохимический реактор баррельного типа
    • Авторы: Киреев В.Ю., Ковалевский В.Л., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
    • #Пат. РФ № RU2024990 C1, 5H01L 21/302, 1992, 23 марта