–
Статьи в журналах
-
- 2016 КИНЕТИКА РОСТА И ПЛАЗМЕННОЙ ДЕСТРУКЦИИ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ В МЕТАНЕ
- Баринов С.М., Ефремов А.М.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 45, с. 98-104
-
- 2011 Electrical parameters and the plasma composition in HCl-H2 mixtures
- Efremov A.M., Yudina A.V., Svettsov V.I.
- в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 40, № 6, с. 371-378 DOI
-
- 2011 Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях HCl-H2 // Микроэлектроника. 2011. №6. С. 405-412
- Ефремов А.М., Юдина А.В., Светцов В.И.
- в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 40, № 6, с. 405-412