Области научных интересов
Ключевые слова: ионная имплантация; модификация наноструктур; инженерия дефектов; ионно-пучковые методики анализа; резерфордовское обратное рассеяние; Взаимодействие заряженных частиц с поверхностью; спектроскопия рассеяния ионов средних энергий / Interaction of charged particles with the surface; ion implantation; modification of nanostructures; defect engineering; ion-beam analysis techniques; Rutherford backscattering; medium-energy ion scattering spectroscopy
Ключевые слова
Взаимодействие заряженных частиц с поверхностью; ионная имплантация; модификация наноструктур; инженерия дефектов; ионно-пучковые методики анализа; резерфордовское обратное рассеяние; спектроскопия рассеяния ионов средних энергий
Interaction of charged particles with the surface; ion implantation; modification of nanostructures; defect engineering; ion-beam analysis techniques; Rutherford backscattering; medium-energy ion scattering spectroscopy