ИСТИНА

Dubkov S.

Соавторы: Kirilenko E.P., Боргардт Н.И., Дедкова А.А.

1 статья

IstinaResearcherID (IRID): 410572616

Деятельность

• Статьи в сборниках

  • • 2014 Study of growth kinetics of amorphous carbon nanopillars formed by PECVD
    • Gromov D., Borgardt N., Grishina Y., Dedkova A., Kirilenko E., Dubkov S.
    • в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2014, серия Proceedings of SPIE, место издания SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Gromov, D.; Borgardt, N.; Grishina, Y.; Dubkov, S.] Natl Res Univ Elect Technol, Moscow, Russia. [Dedkova, A.] Sci Technol Ctr Nano & Microsyst Tech, Moscow, Russia, том 9440 DOI