ИСТИНА

Руденко Константин Васильевич

Соавторы: Мяконьких А.В., Татаринцев А.А., Орликовский Н.А., Рогожин А.Е., Gornev E.S., Kireev V.Y., Kuzmenko V.O., Myakon'kikh A.V., Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Шишлянников А.В.

5 статей, 1 доклад на конференции, 1 тезисы доклада, 1 НИР

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 0, Scopus: 2

IstinaResearcherID (IRID): 47835290

Деятельность

• Статьи в журналах

  • 
    • 2018 Investigation of the Process of Open Plasma-Chemical Etching of HkMG Stack Nanoscale Transistor with a 32-nm Critical Dimension
    • Myakonkikh A.V., Kuvaev K.Yu, Tatarintsev A.A., Orlikovskii N.A., Rudenko K.V., Guschin O.P., Gornev E.S.
    • в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 47, № 5, с. 325-333 DOI
  • 
    • 2018 Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition
    • Dedkova A.A., Dyuzhev N.A., Kireev V.Yu, Klemente I.E., Myakon'kikh A.V., Rudenko K.V.
    • в журнале Nanotechnologies in Russia, том 13, № 9-10, с. 502-507 DOI
  • • 2018 Зависимость стойкости негативного электронного резиста HSQ от дозы облучения в процессе плазмохимического и химического травления
    • Мяконьких А.В., Орликовский Н.А., Рогожин А.Е., Татаринцев А.А., Руденко К.В.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 47, № 3, с. 179-186 DOI

• Статьи в сборниках

  • • 2018 Технологии формирования затворного HkMG-стека с MIPS-структурой для МДП-транзистора с критическими размерами 32/28 нм
    • Мяконьких А.В., Рогожин А.Е., Татаринцев А.А., Руденко К.В., Гущин О.П.
    • в сборнике Труды ФТИАН, издательство Наука (М.), том 28, с. 42-59
  • • 2018 Электронная литография и анизотропное плазмохимическое травление кремниевых FIN-структур для FINFET и SiNW транзисторов с размерами 11-22 нм
    • Мяконьких А.В., Татаринцев А.А., Руденко К.В.
    • в сборнике Труды ФТИАН, издательство Наука (М.), том 28, с. 59-65

• Доклады на конференциях

  • • 2021 Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices (Устный)
    • Авторы: Myakonkikh A., Shishlyannikov A., Tatarintsev A., Kuzmenko V.O., Rudenko K., Gornev E.
    • ICMNE-2021, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021

• Тезисы докладов

  • • 2021 Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
    • Myakonkikh A., Shishlyannikov A., Tatarintsev A., Kuzmenko V., Rudenko K., Gornev E.
    • в сборнике Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts, издательство ООО "МАКС Пресс" (Москва), тезисы, с. O1-07
    • редакторы Лукичев Владимир Федорович, Руденко Константин Васильевич

• НИРы

  • • 1 мая 2016 - 31 декабря 2018 Создание источников и приемников терагерцового излучения на основе низкоразмерных пролетных диодов для контроля объектов
    • Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук
    • Руководитель: Руденко К.В. Участники НИР: Вьюрков В.В., Давыдов Ф.С., Мяконьких А.В., Орликовский Н.А., Рогожин А.Е., Руденко К.В., Руденко М.К., Солянкин П.М.