ИСТИНА

Руденко Константин Васильевич

Соавторы: Татаринцев А.А., Мяконьких А.В., Шишлянников А.В., Рогожин А.Е., Иешкин А.Е., Gornev E.S., Gushin O., Kuzmenko V.O., ORLIKOVSKII A., Tikhonenko F.V., Zarubanov A.A., Кузьменко В.О., Рогожин А.Е.

8 статей, 2 доклада на конференциях, 5 тезисов докладов, 1 НИР

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 3, Scopus: 13

IstinaResearcherID (IRID): 47835297

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2022 Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
    • Miakonkikh A.V., Shishlyannikov A.V., Tatarintsev A.A., Kuzmenko V.O., Rudenko K.V., Gornev E.S.
    • в журнале Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, издательство SPIE, the International Society for Optical Engineering (Bellingham, WA, United States), № 12157 DOI
  • 
    • 2022 Parallel nanowire sensors with a high-k gate oxide for the sensitive operation in liquids
    • Popov V.P., Tikhonenko F.V., Antonov V.A., Zarubanov A.A., Gluhov A.V., Tatarintsev A.A., Miakonkikh A.V., Rudenko K.V.
    • в журнале Solid-State Electronics, издательство Pergamon Press Ltd. (United Kingdom), том 194 DOI
  • • 2021 Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроники
    • Мяконьких А.В., Шишлянников А.В., Татаринцев А.А., Кузьменко В.О., Руденко К.В., Горнев Е.С.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 5, с. 333-338 DOI
  • 
    • 2020 Hafnia and alumina stacks as UTBOXs in silicon-on insulator
    • Popov V.P., Antonov V.A., Gutakovskiy A.K., Tyschenko I.E., Vdovin V.I., Miakonkikh A.V., Rudenko K.V.
    • в журнале Solid-State Electronics, издательство Pergamon Press Ltd. (United Kingdom), том 168, с. 107734 DOI
  • 
    • 2020 The Effect of Temperature on the Development of a Contrast HSQ Electronic Resist
    • Tatarintsev A.A., Shishlyannikov A.V., Rudenko K.V., Rogozhin A.E., Ieshkin A.E.
    • в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 49, № 3, с. 151-156 DOI
  • • 2020 Влияние температуры проявления на контраст электронного резиста HSQ
    • Татаринцев А.А., Шишлянников А.В., Руденко К.В., Рогожин А.Е., Иешкин А.Е.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 49, № 3, с. 163-169 DOI
  • 
    • 2019 Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
    • Rogozhin Alexander E., Miakonkikh Andrey V., Tatarintsev Andrey A., Rudenko K.V.
    • в журнале Proc. SPIE, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, том 11022, с. 1102222 DOI
  • 
    • 2018 Dependence of the Resistance of the Negative e-Beam Resist HSQ Versus the Dose in the RIE and Wet Etching Processes
    • Miakonkikh A.V., Orlikovskiy N.A., Rogozhin A.E., Tatarintsev A.A., Rudenko K.V.
    • в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 47, № 3, с. 157-19 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2021 Electron beam lithography on the surface with 3D relief (Устный)
    • Авторы: Myakonkikh A., Tatarintsev A., Rudenko K.
    • ICMNE-2021, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
  • • 2018 E-beam lithography of dense 10 nm line/space pattern using the HSQ mask (Устный)
    • Авторы: Tatarintsev A.A., Miakonkikh A.V., Rudenko K.V., Shishlyannikov A.
    • International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018), Звенигород, Московская область, Россия, 1-5 октября 2018

• Тезисы докладов

  • • 2021 Electron beam lithography on the surface with 3D relief
    • Myakonkikh A., Tatarintsev A., Rudenko K.
    • в сборнике Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts, издательство ООО "МАКС Пресс" (Москва), тезисы, с. O1-08
    • редакторы Лукичев Владимир Федорович, Руденко Константин Васильевич
  • • 2020 ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ КОНТРАСТОВ ЭЛЕКТРОННОГО РЕЗИСТА HSQ ПРИ РАЗНЫХ МЕТОДАХ ПРОЯВЛЕНИЯ
    • Татаринцев А.А., Шишлянников А.В., Руденко К.В., Рогожин А.Е., Иешкин А.Е.
    • в сборнике Международный форум «Микроэлектроника – 2020»: сборник тезисов, издательство ООО "МАКС Пресс" (Москва), тезисы, с. 179-182
  • • 2018 Comparative study of the dependence of line edge roughness of resists patterns on its molecular structure
    • Sharapov A., Baranov G., Shishlyannikov A., Tatarintsev A.A., Gushin O., Rudenko K.V.
    • в сборнике Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018", место издания Maks press Moscow, тезисы, с. 178-178
  • • 2018 E-beam lithography of dense 10 nm line/space pattern using the HSQ mask
    • Tatarintsev A.A., Miakonkikh A.V., Rudenko K.V., Shishlyannikov A.
    • в сборнике Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018", место издания Maks press Moscow, тезисы, с. 48-48
  • • 2018 Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
    • Rogozhin A., Miakonkikh A., Tatarintsev A.A., Rudenko K.V.
    • в сборнике Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018", место издания Maks press Moscow, тезисы, с. 196-196

• НИРы

  • • 1 мая 2016 - 31 декабря 2018 Создание источников и приемников терагерцового излучения на основе низкоразмерных пролетных диодов для контроля объектов
    • Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук
    • Руководитель: Руденко К.В. Участники НИР: Вьюрков В.В., Давыдов Ф.С., Мяконьких А.В., Орликовский Н.А., Рогожин А.Е., Руденко К.В., Руденко М.К., Солянкин П.М.