Области научных интересов
Ключевые слова: электроника; микроэлектроника; проектирование приборов электронной техники; технологический маршрут; электрофизический параметр; интегральная микросхема; полупроводниковый прибор; физика твёрдого тела / electronics; process flow; electrophysical parameter; integrated circuit; semiconductor device; solid state physics; microelectronics; design of electronic devices
Ключевые слова
микроэлектроника, электроника, твердотельная электроника, полупроводниковый прибор, полупроводниковая структура, приборно-технологическое моделирование, электрофизические параметры прибора, технологический маршрут, технологический процесс, топология
microelectronics, electronics, solid-state electronics, semiconductor device, semiconductor structure, device-process simulation, electrophysical parameters of device, process flow, process, layout