Ключевые слова: Тонкие пленки; способы получения пленок; исследование поверхности и атомной структуры; электронная микроскопия; РФЭС / Thin films; methods for producing films; surface and atomic structure studies; electron microscopy; XPS
Материаловедение, физика конденсированного состояния вещества
Materials science, condensed matter physics