Области научных интересов
Ключевые слова: взаимодействие плазмы с поверхностью; физика низкотемпературной плазмы / plasma-surface interaction; plasma physics; plasma processing
Ключевые слова
физика низкотемпературной плазмы, плазмохимия, нанотехнология, ЭУФ литография
low-temperature plasma, plasma processing, plasmachemistry, nanotechnology, EUV lithography