ИСТИНА

Шайдуллин Р.Я.

Соавторы: Козлов В.В.

1 статья, 1 патент

IstinaResearcherID (IRID): 72242970

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 1988 Кинетика жидкофазного травления монокристаллического граната о-фосфорной кислотой
    • Шайдуллин Р.Я., Козлов В.В.
    • в журнале Электронная техника. Серия 1 "СВЧ-техника", издательство Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (Фрязино), том 2, № 231, с. 26-29

• Патенты

  • • 1990 Способ полирующего травления полупроводниковых пластин диаметром 30-40 мм.
    • Авторы: Шупегин М.Л., Шайдуллин Р.Я., Козлов В.В.
    • #1604096, 6 июня