ИСТИНА

Роговский Е.С.

Соавторы: Лагов П.Б., Drenin A.S., Павлов Ю.С., Филатов М.Ю., Bondariev V.A., Didenko S.I., Kol'tsov G.I., Maslovsky V.M., Skryleva E., Zinovjev M.A., and Lednev A.M., Кобец У.А., Коновалов М.П. показать полностью..., Масловский В.М., Мусалитин А.М.

1 статья, 2 доклада на конференциях, 5 тезисов докладов, 2 патента

Количество цитирований статей в журналах по данным Scopus: 0

IstinaResearcherID (IRID): 97057815

Деятельность

• Статьи в журналах

  • 
    • 2019 HIGH-RATE HIGH-DENSITY ICP ETCHING OF GERMANIUM
    • Lagov P.B., Maslovsky V.M., Pavlov Yu S., Rogovsky E.S., Drenin A.S., Bondariev V.A.
    • в журнале High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes, издательство Begell House Inc. (Danbury, United States), том 23, № 1, с. 57-70 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2018 High-rate high-density ICP etching of germanium (Стендовый)
    • Авторы: Lagov P.B., Pavlov Yu S., Rogovsky E.S., Drenin A.S., Skryleva E.A., Lednev A.M., Maslovsky V.M.
    • XII-th INTERNATIONAL CONFERENCE on ION IMPLANTATION AND OTHER APPLICATIONS OF IONS AND ELECTRONS, Kazimierz Dolny, Польша, 18-21 июня 2018
  • • 2016 ПРИМЕНЕНИЕ УСКОРИТЕЛЯ ИОНОВ «ТАНДЕТРОН» ПРИ СОЗДАНИИ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ С ПОВЫШЕННОЙ РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТЬЮ И ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОСТЬЮ (Стендовый)
    • Авторы: Куприянов Б.В., Лагов П.Б., Дренин А.С., Зиновьев М.А., Роговский Е.С., Романов В.А., Глотов А.И., Кобец У.А., Бажал С.В.
    • 19-я Всероссийская научно-техническая конференция «Стойкость – 2016», г. Лыткарино, Россия, 7-8 июня 2016

• Тезисы докладов

  • 
    • 2018 High-rate high-density ICP etching of germanium
    • Lagov P.B., Maslovsky V.M., Pavlov Yu S., Rogovsky E.S., Drenin A.S., Skryleva E.A., and Lednev A.M.
    • в сборнике XII-th International Conference Ion Implantation And Other Applications Of Ions And Electrons 18–21 June 2018, место издания Kazimierz Dolny, Poland, тезисы, с. 107-107
  • 
    • 2016 ПРИМЕНЕНИЕ УСКОРИТЕЛЯ ИОНОВ ТАНДЕТРОН ПРИ СОЗДАНИИ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ С ПОВЫШЕННОЙ РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТЬЮ И ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОСТЬЮ
    • Лагов П.Б., Дренин А.С., Зиновьев М.А., Роговский Е.С., Романов В.А., Глотов А.И., Кобец У.А., Бажал С.В., Куприянов Б.В.
    • в сборнике Радиационная стойкость электронных систем "Стойкость-2016", серия РАДИАЦИОННАЯ СТОЙКОСТЬ, том 19, тезисы, с. 134-135
  • • 2011 Влияние радиационной обработки на параметры ионнолегированных слоев кремния
    • Дренин А.С., Лагов П.Б., Роговский Е.С., Филатов М.Ю.
    • в сборнике Твердотельная электроника. Сложные функциональные блоки РЭА. Материалы Х научно-технической конференции молодых специалистов, место издания Дубна, тезисы, с. 193-196
  • • 2011 Использование радиационных процессов в технологии изготовления прецизионных стабилитронов с повышенной стойкостью к спецфакторам
    • Дренин А.С., Роговский Е.С., Лагов П.Б., Филатов М.Ю.
    • в сборнике Твердотельная электроника. Сложные функциональные блоки РЭА. Материалы Х научно-технической конференции молодых специалистов, место издания Дубна, тезисы, с. 196-198
  • • 2010 Параметры глубоких радиационных центров в детекторных структурах на основе GaAs
    • Черных А.В., Черных С.В., Диденко С.И., Кольцов Г.И., Лагов П.Б., Роговский Е.С., Мусалитин А.М., Коновалов М.П.
    • в сборнике Микро- и нанотехнологии в электронике. Материалы III Международной научно-технической конференции, место издания КБУ Нальчик, тезисы, с. 1-1

• Патенты

  • • 2014 Способ формирования высококачественных МОП структур с поликремниевым затвором
    • Авторы: Дренин А.С., Роговский Е.С., Мурашев В.Н., Леготин С.А., Лагов П.Б., Ельников Д.С.
    • #RU 2 524 941 С2, 10 августа
  • • 2013 Способ улучшения энергомассовых характеристик наногетероструктурных солнечных элементов
    • Авторы: Лагов П.Б., Дренин А.С., Роговский Е.С., Леднев А.М.
    • #№ 58-035-2013 ОИС, 2 сентября