|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ И НОВЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ: Материалы докладов межотраслевого научно-технического семинарасборник
- Год издания: 1989
- Место издания: Харьков
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 1989 ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК а-С:Н В ДИАПАЗОНЕ ТОЛЩИН 10 -300 НМ
- Слепцов В.В., Елинсон В.М., Баранов А.М., Кондрашов П.Е.
- в сборнике ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ И НОВЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ: Материалы докладов межотраслевого научно-технического семинара, место издания Харьков, тезисы, с. 182-182