|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Разработка базы данных ab initio бинарных потенциалов и сечений упругого взаимодействия для описания плазменного травления. Пара Ar-Si доклад на конференции
- Авторы: Палов А.П., Сычева А.А.
- Международная Конференция : XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
- Даты проведения конференции: 8-12 февраля 2016
- Дата доклада: 9 февраля 2016
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Звенигород, Russia
-
Аннотация доклада:
Необходимость расчета парных потенциалов взаимодействия между различными частицами (атомами, ионами), а также сечения их упругого рассеяния является отдельной составляющей множества исследований. В рамках данной работы рассматривалось упругое взаимодействие пары атомов Ar и Si. Рассчитанные потенциал и сечения важны для решения задач в сфере нанотехнологий.
- Добавил в систему: Сычева Анастасия Александровна