|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emissionдоклад на конференции
- Авторы: Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R., Vasil'eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Kurchikov K., Kovalev A.S.
- Международная Конференция : PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)
- Даты проведения конференции: 14-15 марта 2013
- Дата доклада: 15 марта 2013
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Лёвен, Belgium
- Добавил в систему: Прошина Ольга Вячеславовна