Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithography
доклад на конференции
Авторы:
Евстафьева Е.Н.
,
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
Международная Конференция :
Micro- and Nanoelectronics – 2012
Даты проведения конференции:
2012
Дата доклада:
3 октября 2012
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
не указан
не указан
Евстафьева Е.Н.
Татаринцев А.А.
Рау Э.И.
Место проведения:
Москва - Звенигород, Россия, Russia
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич