Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
отправить сообщение
Татаринцев Андрей Андреевич
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение радиофизики
,
Кафедра физической электроники
, старший научный сотрудник, с 1 февраля 2016
кандидат физико-математических наук с 2013 года
Соавторы:
Рау Э.И.
,
Мяконьких А.В.
,
Озерова К.Е.
,
Иешкин А.Е.
,
Зыкова Е.Ю.
,
Купреенко С.Ю.
,
Зайцев С.В.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Руденко К.В.
,
Шишлянников А.В.
,
Иваненко И.П.
,
Киреев Д.С.
показать полностью...
,
Рогожин А.Е.
,
Хайдаров А.А.
,
Евстафьева
,
Шемухин А.А.
,
Воробьева Е.А.
,
Евсеев А.П.
,
Руденко К.В.
,
Черныш В.С.
,
Orlikovsky N.A.
,
Гостев А.В.
,
Орликовский Н.А.
,
Руденко К.В.
,
Хвостов В.В.
,
Кадымов В.А.
,
Орликовская Н.Г.
,
Пешнина Д.О.
,
Сеннов Р.А.
,
Тагаченков А.М.
,
Gornev E.S.
,
Kuzmenko V.O.
,
Балакшин Ю.В.
,
Кушкина К.Д.
,
Орликовский Н.А.
,
Привезенцев В.В.
,
Стебельков В.А.
,
Фрейнкман Б.Г.
,
Хорошилов В.В.
,
Evstafjeva E.N.
,
Fu D.J.
,
Kalnov V.A.
,
LUKICHEV V.
,
ORLIKOVSKII A.
,
Podbutsky N.G.
,
Sosenushkin A.E.
,
Yanovskaya E.A.
,
Андреев В.Г.
,
Бачурин В.И.
,
Белых С.Ф.
,
Бычков В.Л.
,
Дроздов М.Н.
,
Дюков В.Г.
,
Жарик Г.А.
,
Завидовский И.А.
,
Коробейщиков Н.Г.
,
Лукичев В.Ф.
,
Лукьянов А. .
,
Пеленович В.О.
,
Плиес Э.
,
Рогожин А.Е.
,
Рудый А.С.
,
Рябцев М.
,
Свинцов А.А.
,
Сенатулин Б.Р.
,
Сосенушкин Е.Н.
,
Степанов А.В.
,
Стрелецкий О.А.
,
Толстогузов А.Б.
,
Туркин А.Н.
,
Юрасова В.Е.
,
Eisaks E.
,
Gushin O.
,
Karaulov V.
,
Knjazev M.A.
,
Kolybin S.
,
Krasnikov G.Y.
,
Orlikovsky N.
,
Tikhonenko F.V.
,
Zarubanov A.A.
,
Rudenko K.
,
Алехина Ю.А.
,
Амиров И.И.
,
Байдакова Н.А.
,
Балакин Д.А.
,
Букунов К.А.
,
Гайнуллин И.К.
,
Грачев Р.А.
,
Григоров В.В.
,
Грушин Б.А.
,
Девятов И.А.
,
Дицман С.А.
,
Ермаков А.Н.
,
Завильгельский А.Д.
,
Зайцев С.И.
,
Зотин К.В.
,
Киселевский В.А.
,
Князев М.А.
,
Князев М.А.
,
Князев М.Н.
,
Красильник З.Ф.
,
Кузьменко В.О.
,
Ломов А.А.
,
Максимочкин В.И.
,
Маслаков К.И.
,
Милеев В.Н.
,
Назаров А.В.
,
Низовцев В.В.
,
Нищак О.Ю.
,
Новиков Л.С.
,
Нуриахметов И.Ф.
,
Овчинникова Л.Ю.
,
Павликов А.В.
,
Пестов С.М.
,
Привезенцев В.В.
,
Савченко Н.Ф.
,
Скороходов Е.В.
,
Скрылева Е.А.
,
Толстов И.О.
,
Трубицын А.В.
,
Ханкин В.В.
,
Целебровский А.Н.
,
Чеченин Н.Г.
,
Шахова Я.Э.
,
Шведунов В.И.
,
Юров Д.С.
,
Яновская Е.А.
85 статей
,
44 доклада на конференциях
,
58 тезисов докладов
,
10 НИР
,
2 патента
,
2 награды
,
2 стажировки
,
2 диссертации
,
10 дипломных работ
,
3 курсовые работы
,
8 учебных курсов
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 100, Scopus: 158
РИНЦ:
IstinaResearcherID (IRID): 19410072
ResearcherID:
I-6045-2014
Scopus Author ID:
36519864100
ORCID:
0000-0002-4978-2280
Деятельность
Статьи в журналах
2023
Highly Selective Polyene-Polyyne Resistive Gas Sensors: Response Tuning by Low-Energy Ion Irradiation
Zavidovskiy I.A.
,
Streletskiy O.A.
,
Nuriahmetov I.F.
,
Nishchak O.Y.
,
Savchenko N.F.
,
Tatarintsev A.A.
,
Pavlikov A.V.
в журнале
Journal of Composites Science
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 7, № 4
DOI
2023
Полученные плазменно-химическим осаждением a-C : ND покрытия: взаимосвязь эмиссионных свойств и фазового состава
Завидовский И.А.
,
Стрелецкий О.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Хайдаров А.А.
в журнале
Физика твердого тела
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, № 4, с. 656-668
DOI
2023
Рассеяние и эмиссия ионов из диэлектрических плёнок
Зыкова Е.Ю.
,
Иешкин А.Е.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Озерова К.Е.
,
Орликовская Н.Г.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, том 78, № 2
DOI
2023
Свойства титаномагнетита пиллоу-базальта Красного моря на различном расстоянии от закаленной корки
Целебровский А.Н.
,
Максимочкин В.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Алехина Ю.А.
,
Грачев Р.А.
в журнале
Физика Земли
, издательство
Российская академия наук
(Москва)
, № 1, с. 81-94
DOI
2022
Characterization of Charging Lithium Niobate and Lithium Tantalate Ferroelectrics under Irradiation with Defocused Electron and Ion Beams
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Ozerova K.E.
в журнале
IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 29, № 3
DOI
2022
Cobalt subtractive etch for advanced interconnects
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
,
Amirov I.
,
Rudenko K.
в журнале
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, издательство
SPIE, the International Society for Optical Engineering
(Bellingham, WA, United States)
, № 12157
DOI
2022
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
Miakonkikh A.V.
,
Shishlyannikov A.V.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kuzmenko V.O.
,
Rudenko K.V.
,
Gornev E.S.
в журнале
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, издательство
SPIE, the International Society for Optical Engineering
(Bellingham, WA, United States)
, № 12157
DOI
2022
Modification of the model of charging dielectrics under electron beam irradiation
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 132
DOI
2022
On the origin of nanoripples on silicon by gas cluster-ion irradiation
Kireev D.S.
,
Ryabtsev M.O.
,
Tatarintsev A.A.
,
Ieshkin A.E.
в журнале
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 520, с. 8-12
DOI
2022
Parallel nanowire sensors with a high-k gate oxide for the sensitive operation in liquids
Popov V.P.,
Tikhonenko F.V.
, Antonov V.A.,
Zarubanov A.A.
, Gluhov A.V.,
Tatarintsev A.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Solid-State Electronics
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 194
DOI
2022
Photoluminescence of sapphire irradiated by low-energy electrons and ions
Zykova E.Yu
,
Ozerova K.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Turkin A.N.
в журнале
Optics and Spectroscopy (English translation of Optika i Spektroskopiya)
, издательство
Optical Society of America
(United States)
, том 130, № 9, с. 1104-1109
DOI
2022
Synthesis of Polymer Composites Reinforced with Carbon Nanotubes and a Study of Their Charging under an Electron Beam
Vorobyeva E.A.
,
Peshnina D.O.
,
Tatarintsev A.A.
,
Evseev A.P.
,
Shemukhin A.A.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 77, № 4, с. 622-626
DOI
2022
Метод регистрации потенциала зарядки диэлектриков при ионном облучении по сдвигу границы тормозного рентгеновского спектра
Татаринцев А.А.
,
Орликовский Н.А.
,
Орликовская Н.Г.
,
Озерова К.Е.
,
Шахова Я.Э.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 92, № 9, с. 1467-1470
DOI
2022
Синтез полимерных композитов, армированных углеродными нанотрубками, и исследование их зарядки под пучком электронов
Воробьева Е.А.
,
Пешнина Д.О.
,
Татаринцев А.А.
,
Евсеев А.П.
,
Шемухин А.А.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 4, с. 25-29
2022
Фотолюминесценция сапфира, облученного электронами и ионами низких энергий
Зыкова Е.Ю.
,
Озерова К.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Туркин А.Н.
в журнале
Оптика и спектроскопия
, том 130, № 9, с. 1372-1377
DOI
2021
A new scenario for the kinetics of charging dielectrics under irradiation with medium-energy electrons
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Physics of the Solid State
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 63, № 4, с. 574-589
DOI
2021
Charging characteristics of LiTaO3 crystals under irradiation with defocused electron beams of various energies
Ozerova K.E.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Ferroelectrics
, издательство
Taylor and Francis
(United States)
, том 585, № 1
DOI
2021
Dark current issues for high gradient C-band medical linac
Chernysh V.S.
,
Ermakov A.N.
,
Ieshkin A.E.
,
Kireev D.S.
,
Khankin V.V.
,
Ovchinnikova L.Y.
,
Shvedunov V.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Yurov D.S.
в журнале
Journal of Instrumentation
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 16, № 2
DOI
2021
Differences in the Kinetic Characteristics of Charging Ferroelectrics and Dielectrics upon Ion Irradiation
Ozerova K.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Rau E.I.
,
Minnebaev K.F.
,
Zaitsev S.V.
в журнале
Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
, издательство
Allerton Press Inc.
(United States)
, том 85, № 8, с. 835-840
DOI
2021
Energy Distributions of Secondary Charged Particles Sputtered by Gas Cluster Ions
Ieshkin A.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kireev D.S.
,
Bachurin V.I.
,
Rudyi A.S.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 47, № 4, с. 394-397
DOI
2021
Study of the Plasma Resistance of a High Resolution e-Beam Resist HSQ for Prototyping Nanoelectronic Devices
Miakonkikh A.V.
,
Shishlyannikov A.V.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kuzmenko V.O.
,
Rudenko K.V.
,
Gornev E.S.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 50, № 5, с. 297-302
DOI
2021
The Effect of Ion Irradiation Fluence on the Structure of Multiwall Carbon Nanotubes with Different Diameters
Evseev A.P.
,
Balakshin Yu V.
,
Vorobyeva E.A.
,
Stepanov A.V.
,
Kushkina K.D.
,
Tatarintsev A.A.
,
Shemukhin A.A.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 76, № 2, с. 84-88
DOI
2021
Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроники
Мяконьких А.В.
,
Шишлянников А.В.
,
Татаринцев А.А.
,
Кузьменко В.О.
,
Руденко К.В.
, Горнев Е.С.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 49, № 5
DOI
2021
Новый сценарий кинетики зарядки диэлектриков при облучении электронами средних энергий
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Физика твердого тела
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 63, № 4, с. 483-498
2021
Различия в кинетических характеристиках зарядки сегнетоэлектриков и диэлектриков при ионном облучении
Озерова К.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Зайцев С.В.
в журнале
Известия Российской академии наук. Серия физическая
, том 85, № 8
DOI
2021
Сравнение влияния флюенса ионного облучения на структуру многостенных углеродных нанотрубок различных диаметров
Евсеев А.П.
,
Балакшин Ю.В.
,
Воробьева Е.А.
,
Степанов А.В.
,
Кушкина К.Д.
,
Татаринцев А.А.
,
Шемухин А.А.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 2, с. 24-28
2021
Энергетические распределения вторичных заряженных частиц при распылении газовыми кластерными ионами
Иешкин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Киреев Д.С.
,
Бачурин В.И.
,
Рудый А.С.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 47, № 8, с. 25-28
DOI
2020
Charging of dielectrics under ion irradiation
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zykova E.Yu
,
Markovets K.E.
,
Minnebaev K.F.
в журнале
Vacuum
, издательство
Elsevier Ltd
(London)
, том 177, с. 109373
DOI
2020
Electron-beam charging of sapphire preirradiated by Arn+ clusters
Tatarintsev A.A.
,
Ieshkin A.E.
,
Kireev D.S.
,
Markovets K.E.
в журнале
Vacuum
, издательство
Elsevier Ltd
(London)
, том 177, с. 109374
DOI
2020
Energy distributions of the particles sputtered by gas cluster ions. Experiment and computer simulation
Ieshkin A.E.
,
Nazarov A.V.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kireev D.S.
,
Zavilgelsky A.D.
,
Shemukhin A.A.
,
Chernysh V.S.
в журнале
Surface and Coatings Technology
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 404
DOI
2020
Influence of the Finite-Size Effect on the Cluster Ion Emission of Silicon Nanostructures
Tolstoguzov A.B.
,
Drozdov M.N.
,
Ieshkin A.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Myakonkikh A.V.
,
Belykh S.F.
,
Korobeishchikov N.G.
,
Pelenovich V.O.
,
Fu D.J.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 111, № 8, с. 467-471
DOI
2020
Surface topography and composition of NiPd alloys under oblique and normal gas cluster ion beam irradiation
Ieshkin A.E.
,
Kireev D.S.
,
Tatarintsev A.A.
,
Chernysh V.S.
,
Senatulin B.R.
,
Skryleva E.A.
в журнале
Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 700
DOI
2020
The Effect of Temperature on the Development of a Contrast HSQ Electronic Resist
Tatarintsev A.A.
,
Shishlyannikov A.V.
,
Rudenko K.V.
,
Rogozhin A.E.
,
Ieshkin A.E.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 49, № 3, с. 151-156
DOI
2020
Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния
Толстогузов А.Б.
,
Дроздов М.Н.
,
Иешкин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Белых С.Ф.
,
Коробейщиков Н.Г.
,
Пеленович В.О.
,
Фу Д.
в журнале
Письма в "Журнал экспериментальной и теоретической физики"
, том 111, № 8, с. 531-535
DOI
2020
Влияние температуры проявления на контраст электронного резиста HSQ
Татаринцев А.А.
,
Шишлянников А.В.
,
Руденко К.В.
,
Рогожин А.Е.
,
Иешкин А.Е.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 49, № 3, с. 163-169
DOI
2020
Использование потоков ускоренных ионов в современных технологиях
Иешкин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Советский физик
, № 2, с. 35-40
2019
Charging Dielectrics when Bombarded with Ar+ Ions of Medium Energies
Minnebaev K.F.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Physics of the Solid State
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 61, № 6, с. 1013-1016
DOI
2019
Charging and domain switching in ferroelectrics LiNbO3 by electron beam
Tatarintsev A.A.
,
Markovets K.E.
,
Rau E.I.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, № 52, с. 115104
DOI
2019
Charging of Ion-Implanted Dielectrics by Electron Irradiation
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zykova E.Yu
,
Zaitsev S.V.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 64, № 8, с. 1205-1209
DOI
2019
Evolution of periodical surface nanostructures under off-normal gas cluster ion irradiation
Ieshkin A.E.
,
Kireev D.S.
,
Tatarintsev A.A.
,
Chernysh V.S.
в журнале
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 460, с. 165-168
DOI
2019
Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
Rogozhin Alexander E.
,
Miakonkikh Andrey V.
,
Tatarintsev Andrey A.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Proc. SPIE, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
, том 11022, с. 1102222
DOI
2019
Influence of ion implantation and electron pre-irradiation on charging of dielectrics under electron beam irradiation: Application to SiO2
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zykova E.Yu
в журнале
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 460, с. 141-146
DOI
2019
Зарядка диэлектриков при бомбардировке ионами Ar+ средних энергий
Миннебаев К.Ф.
,
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
в журнале
Физика твердого тела
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 61, № 6, с. 1090-1093
DOI
2019
Исследование процессов зарядки ионно-имплантированных диэлектриков под воздействием электронного облучения
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Зыкова Е.Ю.
,
Зайцев С.В.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 89, № 8, с. 1276-1281
DOI
2018
Dependence of the Resistance of the Negative e-Beam Resist HSQ Versus the Dose in the RIE and Wet Etching Processes
Miakonkikh A.V.
,
Orlikovskiy N.A.
,
Rogozhin A.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 47, № 3, с. 157-19
DOI
2018
Evolution of the multi-walled carbon nanotubes structure with increasing fluence of He ion irradiation
Kushkina K.D.
,
Shemukhin A.A.
,
Vorobyeva E.A.
,
Bukunov K.A.
,
Evseev A.P.
,
Tatarintsev A.A.
,
Maslakov K.I.
,
Chechenin N.G.
,
Chernysh V.S.
в журнале
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 430, с. 11-17
DOI
2018
Influence of Zn+-Ion Implantation on the Process of Sapphire Charging by an Electron Beam
Tatarintsev A.A.
,
Privezentsev V.V.
,
Rau E.I.
, Goryachev A.V.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 12, № 2, с. 213-216
DOI
2018
Investigation of the Process of Open Plasma-Chemical Etching of HkMG Stack Nanoscale Transistor with a 32-nm Critical Dimension
Myakonkikh A.V.
, Kuvaev K.Yu,
Tatarintsev A.A.
,
Orlikovskii N.A.
,
Rudenko K.V.
, Guschin O.P., Gornev E.S.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 47, № 5, с. 325-333
DOI
2018
Влияние имплантации ионов Zn+ на процесс зарядки сапфира электронным пучком
Татаринцев А.А.
,
Привезенцев В.В.
,
Рау Э.И.
, Горячев А.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 3, с. 47-51
DOI
2018
Зависимость стойкости негативного электронного резиста HSQ от дозы облучения в процессе плазмохимического и химического травления
Мяконьких А.В.
,
Орликовский Н.А.
,
Рогожин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Руденко К.В.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 47, № 3, с. 179-186
DOI
2017
Comparative Analysis of Methods for Measurement of the Surface Potential of Dielectrics Charging Under Electron-Beam Irradiation in a Scanning Electron Microscope
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kupreenko S.Yu
,
Zaitsev S.V.
,
Podbutsky N.G.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 11, № 5, с. 1062-1068
DOI
2017
Electron-Beam Charging of Dielectrics Preirradiated with Moderate-Energy Ions and Electrons
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zykova E.Yu
,
Ivanenko I.P.
,
Kupreenko S.Yu
,
Minnebaev K.F.
,
Haidarov A.A.
в журнале
Physics of the Solid State
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 59, № 8, с. 1526-1535
DOI
2017
Исследование технологических параметров современных электронных резистов
Красников Г.Я.
, Гущин О.П.,
Шишлянников А.В.
, Горнев Е.С.,
Орликовский Н.А.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника
, издательство
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники"
(Москва)
, том 3, с. 33-52
2017
Моделирование напряженно-деформированного состояния при обработке давлением
Сосенушкин Е.Н.
,
Кадымов В.А.
,
Яновская Е.А.
,
Татаринцев А.А.
, Сосенушкин А.Е.
в журнале
Известия ТулГу, серия технические науки
, № 11-1, с. 82-100
2017
Сравнительный анализ методов измерения потенциалов зарядки диэлектриков при электронном облучении в сканирующем электронном микроскопе
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Купреенко С.Ю.
,
Зайцев С.В.
,
Подбуцкий Н.Г.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 10, с. 69-76
2017
Электронно-лучевая зарядка диэлектриков, предварительно облучённых ионами и электронами средних энергий
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Зыкова Е.Ю.
,
Иваненко И.П.
,
Купреенко С.Ю.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Хайдаров А.А.
в журнале
Физика твердого тела
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 59, № 8, с. 1504-1513
DOI
2016
New Possibilities and Some Artifacts of the Cathodoluminescent Mode in Scanning Electron Microscopy
Zaitsev S.V.
,
Kupreenko S.Yu
,
Lukyanov A.E.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Khaidarov A.A.
в журнале
Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
, издательство
Allerton Press Inc.
(United States)
, том 80, № 12, с. 1431-1435
DOI
2016
Optical coefficients of nanometer-thick copper and gold films in microwave frequency range
Khorin I., Orlikovsky N., Rogozhin A.,
Tatarintsev A.
, Pronin S.,
Andreev V.
, Vdovin V.
в журнале
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, издательство
SPIE, the International Society for Optical Engineering
(Bellingham, WA, United States)
, том 10224, с. 1022407-1-1022407-7
DOI
2016
Secondary electron emission and charging characteristics of ionirradiated sapphire
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Юрасова В.Е.
,
Хвостов В.В.
в журнале
Vacuum
, издательство
Elsevier Ltd
(London)
, том 129, с. 142-147
DOI
2016
Silicon ohmic lateral-contact MEMS switch for RF applications
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
, Lebedev K.,
Kalnov V.
,
Rudenko K.
,
Lukichev V.
в журнале
Proc. SPIE, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2016
, том 10224, с. 1022419-1-1022419-7
DOI
2016
The parameters of the Stress State in the Operations of Plastic deformation
Sosenushkin E.N.,
Kadymov V.A.
, Yanovskaya E.A.,
Tatarencev A.
, Sosenushkin A.E.
в журнале
Key Engineering Materials
, издательство
Trans Tech Publications Ltd.
(Germany)
, том 684, с. 57-66
DOI
2016
Кинематическая и динамическая модели механики деформируемого твердого тела
Сосенушкин Е.Н.
,
Кадымов В.А.
,
Яновская Е.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Сосенушкин А.Е.
в журнале
Известия Самарского научного центра РАН
, издательство
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Самарский научный центр Российской академии наук
(Самара)
, № 3, с. 300-308
2016
Новые возможности и некоторые артефакты режима катодолюминесценции в сканирующей электронной микроскопии
Зайцев С.В.
,
Купреенко С.Ю.
,
Лукьянов А.Е.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Хайдаров А.А.
в журнале
Известия Российской академии наук. Серия физическая
, том 8, № 12, с. 1623-1628
DOI
2015
Determination of Thickness of Ultrathin Surface Films in Nanostructures from the Energy Spectra of Reflected Electrons
Kupreenko S.Yu
,
Orlikovskii N.A.
,
Rau E.I.
,
Tagachenkov A.M.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 60, № 10, с. 1515-1518
DOI
2015
Semiconductor Detectors of Backscattered Electrons in a Scanning Electron Microscope: Characteristics and Applications
Zaitsev S.V.
,
Kupreenko S.Yu
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Instruments and Experimental Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 58, № 6, с. 757-764
DOI
2015
Определение толщин ультратонких поверхностных плёнок в наноструктурах по энергетическим спектрам отражённых электронов
Купреенко С.Ю.
,
Орликовский Н.А.
,
Рау Э.И.
,
Тагаченков А.М.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 85, № 10, с. 101-104
2015
Характеристики и применения полупроводниковых детекторов отражённых электронов в сканирующем электронном микроскопе
Зайцев С.В.
,
Купреенко С.Ю.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Приборы и техника эксперимента
, издательство
ИКЦ «Академкнига»
(Москва)
, № 6, с. 51-59
2014
Characteristics of Dielectric Film Charging, Depending on Their Thickness upon Electron Irradiation
Gostev A.V.,
Evstaf’eva E.N.
,
Rau E.I.
, Tagachenkov A.M.,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
, издательство
Allerton Press Inc.
(United States)
, том 78, № 9, с. 833-838
DOI
2014
Charging Potential of Dielectrics and Insulated Conductors as a Function of the Angle of Incidence of an Electron Beam
Evstaf’eva E.N.
, Zaitsev S.V.,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 69, № 1, с. 61-65
DOI
2014
X-ray microanalysis of uranium dioxide particles by using low electron beam energy
Дюков В.Г.,
Евстафьева Е.Н.
,
Стебельков В.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Хорошилов В.В.
в журнале
Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
, издательство
Allerton Press Inc.
(United States)
, том 78, № 9, с. 851-853
DOI
2014
Зависимость потенциала зарядки диэлектриков и изолированных проводников от угла падения пучка электронов
Евстафьева Е.Н.
,
Зайцев С.В.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 56-60
2014
Рентгеновские микроанализ частиц диоксида урана при низкой энергии электронов зонда
Дюков В.Г.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Стебельков В.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Хорошилов В.В.
в журнале
Известия Российской академии наук. Серия физическая
, том 78, № 9, с. 1090-1092
2014
Характеристики зарядки диэлектрических пленок в зависимости от толщины при электронном облучении
Гостев А.В.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Тагаченков А.М.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Известия Российской академии наук. Серия физическая
, том 78, № 9, с. 1071-1076
2013
An Explanation of Certain Contradictions in the Treatment of the Charging Dynamics of Dielectric Targets under the Effect of Electron Irradiation
Evstaf’eva E.N.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 68, № 2, с. 128-131
DOI
2013
Complex investigations of effects of charging a polymer resist (PMMA) during electron lithography
Rau E.I.
,
Evstaf'Eva E.N.
,
Zaitsev S.I.
, Knyazev M.A., Svintsov A.A.,
Tatarintsev A.A.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 2, с. 89-98
DOI
2013
Комплексные исследования эффектов зарядки полимерного резиста (ПММА) при электронной литографии
Рау Э.И.
,
Евстафьева Е.Н.
, Зайцев С.И.,
Князев М.А.
, Свинцов А.А.,
Татаринцев А.А.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 42, № 2, с. 116-126
DOI
2013
Объяснение некоторых противоречий в трактовке динамики зарядки диэлектрических мишеней под воздействием электронного облучения
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, том 2, № -, с. 34-37
2012
Contrast within images of locally charged dielectrics in scanning electron microscopy
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 6, № 6, с. 911-917
DOI
2012
Контраст изображений локально заряженных диэлектриков в растровой электронной микроскопии
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 11, с. 47-54
2010
Methodological Aspects of the Electron_Beam Investigation of Dielectric Target Charging
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Сеннов Р.А.
,
Плиес Э.
,
Фрейнкман Б.Г.
в журнале
BULLETIN-RUSSIAN ACADEMY OF SCIENCES PHYSICS C/C OF IZVESTIIA-ROSSIISKAIA AKADEMIIA NAUK SERIIA FIZICHESKAIA
, том 74, № 7, с. 979-987
DOI
2010
Методические аспекты электронно-зондовых исследований процессов зарядки диэлектрических мишеней
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Сеннов Р.А.
,
Фрейнкман Б.Г.
,
Плиес Э.
в журнале
Известия Российской академии наук. Серия физическая
, том 74, № 7, с. 1020-1028
Статьи в сборниках
2020
Charging Characteristics of Polymers with Carbon Nanotube Inclusions Irradiated by an Electron Beam
Peshnina Daria
,
Tatarintsev Andrey
,
Vorobyeva Ekaterina
,
Evseev Alexander
,
Balakshin Yury
,
Shemukhin Andrey
в сборнике
2020 IEEE International Conference on Electrical Engineering and Photonics (EExPolytech)
, место издания
IEEE
, с. 208-209
DOI
2018
Технологии формирования затворного HkMG-стека с MIPS-структурой для МДП-транзистора с критическими размерами 32/28 нм
Мяконьких А.В.
,
Рогожин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Руденко К.В.
, Гущин О.П.
в сборнике
Труды ФТИАН
, издательство
Наука
(М.)
, том 28, с. 42-59
2018
Электронная литография и анизотропное плазмохимическое травление кремниевых FIN-структур для FINFET и SiNW транзисторов с размерами 11-22 нм
Мяконьких А.В.
,
Татаринцев А.А.
,
Руденко К.В.
в сборнике
Труды ФТИАН
, издательство
Наука
(М.)
, том 28, с. 59-65
2017
The mathematical and Physical Modeling of Distributions Operations in Crimp Conical Shells
Sosenushkin E.N.,
Kadymov V.A.
,
Yanovskaya E.A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Sosenushkin A.E.
в сборнике
«Nonlinearity. Problems, Solutions and Applications»
, серия
Vol.1. Secton 11: Kinetics, Dynamics and Thermochemistry of Micro-, Meso- and Macro- Scale Systems
, место издания
Nova Science Publishers New York
, с. 499-518
Доклады на конференциях
2023
Электризация кварцевых стекол электронными пучками
(Стендовый)
Авторы:
Зыкова Е.Ю.
,
Иешкин А.Е.
,
Орликовская Н.Г.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
52-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, Москва, Россия, 30 мая - 1 июня 2023
2023
Свойства титаномагнетита пиллоу-базальта Красного моря
(Устный)
Авторы:
Целебровский А.Н.
,
Максимочкин В.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Алехина Ю.А.
,
Грачев Р.А.
Ломоносовские чтения - 2023. Секция Физика.
, МГУ, Россия, 10-15 апреля 2023
2022
Особенности зарядки полимерных нанокомпозитов с различными углеродными наполнителями под действием электронных пучков различных энергий
(Стендовый)
Авторы:
Воробьева Е.А.
,
Пешнина Д.О.
,
Евсеев А.П.
,
Татаринцев А.А.
,
Шемухин А.А.
VIII Всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов "Физические и физико-химические основы ионной имплантации" (ФФХОИИ-2022)
, Казань, Россия, 11-14 октября 2022
2022
Composition, structure and properties of titanomagnetite in Red sea pillow basalt
(Устный)
Авторы:
Целебровский А.Н.
,
Максимочкин В.И.
,
Алехина Ю.
,
Татаринцев А.А.
,
Грачев Р.А.
XIV школа-конференция с международным участием «Проблемы Геокосмоса — 2022»
, Санкт-Петербург, Россия, 3-7 октября 2022
2022
Влияние поверхностного потенциала диэлектрика на рост эмиссии положительных частиц при ионном облучении
(Стендовый)
Авторы:
Зыкова Е.Ю.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Озерова К.Е.
,
Орликовская Н.Г.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
51-я Международная тулиновская конференция по по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами, 24-26 мая 2022, Москва, Россия г.
, Москва, Россия, 24-26 мая 2022
2022
Эволюция спектров катодолюминесценции в процессе электризации диэлектриков
(Стендовый)
Авторы:
Зыкова Е.Ю.
,
Иешкин А.Е.
,
Озерова К.Е.
,
Орликовская Н.Г.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
51-я Международная тулиновская конференция по по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами, 24-26 мая 2022, Москва, Россия г.
, Москва, Россия, 24-26 мая 2022
2021
Зарядка диэлектрических материалов при облучении электронами с энергией 0.2-30 кэВ
(Устный)
Авторы:
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Киселевский В.А.
XXII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине"
, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 22-23 ноября 2021
2021
Основные особенности зарядки диэлектрических материалов пучками ионов ar+ с энергией 1-10 кэВ
(Устный)
Авторы:
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Зыкова Е.Ю.
XXII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине"
, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 22-23 ноября 2021
2021
Характеристики вторичной электронной эмиссии полимерных композитов, армированных углеродными нанотрубками, при облучении электронным пучком
(Устный)
Авторы:
Пешнина Д.О.
,
Воробьева Е.А.
,
Евсеев А.П.
,
Татаринцев А.А.
,
Шемухин А.А.
XXII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине"
, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 22-23 ноября 2021
2021
Electron beam lithography on the surface with 3D relief
(Устный)
Авторы:
Myakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
,
Rudenko K.
ICMNE-2021
, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
2021
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
(Устный)
Авторы:
Myakonkikh A.
,
Shishlyannikov A.
,
Tatarintsev A.
,
Kuzmenko V.O.
,
Rudenko K.
,
Gornev E.
ICMNE-2021
, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
2021
Change in charging state of insulators irradiated by charged particles of medium energy
(Стендовый)
Авторы:
Zykova E.Yu
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Gainullin I.K.
,
Ozerova K.E.
,
Khvostov V.V.
,
Minnebaev K.F.
25-я Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2021)"
, Ярославль, Россия, 23-27 августа 2021
2021
Связь магнитных параметров подводных базальтов со скоростью их охлаждения
(Устный)
Авторы:
Целебровский А.Н.
,
Максимочкин В.И.
,
Алехина Ю.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Стогов М.А.
Ломоносовские чтения - 2021. Секция физики
, МГУ имени М.В.Ломоносова, Россия, 21-28 апреля 2021
2020
Charging characteristics of polymers with carbon nanotube inclusions irradiated by an electron beam
(Стендовый)
Авторы:
Peshnina D.
,
Tatarintsev A.
,
Vorobyeva E.
,
Evseev A.
,
Balakshin Yu
,
Nazarov A.
,
Shemukhin A.
IEEE EExPolytech-2020: Electrical Engineering and Photonics
, Saint Petersburg, Russia, Россия, 15-16 октября 2020
2020
Новый сценарий кинетики зарядки диэлектриков и сегнетоэлектриков при электронном и ионном облучении
(Устный)
Авторы:
Озерова К.Е.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
XXVIII Российская конференция по электронной микроскопии "Современные методы электронной, зондовой микроскопии и комплементарных методов исследований наноструктур и наноматериалов"
, Черноголовка, Россия, 7-10 сентября 2020
2019
Electron-beam charging of sapphire preirradiated by ArN+ clusters
(Стендовый)
Авторы:
Tatarintsev A.A.
,
Ieshkin A.E.
,
Kireev D.S.
,
Markovets K.E.
24th International Conference on Ion-Surface Interactions (ISI-2019)
, Москва, Россия, 19-23 августа 2019
2019
Кластерные технологии обработки титана для медицинских имплантов
(Устный)
Авторы:
Пестов С.М.
,
Григоров В.В.
,
Сенатулин Б.Р.
,
Иешкин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Иваненко И.П.
,
Рябцев М.
,
Черныш В.С.
49-я Международная Тулиновская конференция "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами"
, Москва, Россия, 28-30 мая 2019
2018
E-beam lithography of dense 10 nm line/space pattern using the HSQ mask
(Устный)
Авторы:
Tatarintsev A.A.
,
Shishlyannikov A.
,
Rudenko K.V.
,
Miakonkikh A.V.
International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018)
, Звенигород, Московская область, Россия, 1-5 октября 2018
2018
Features of ferroelectric charging process and switching of the domains under electron beam irradiation
(Стендовый)
Авторы:
Markovets K.E.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018)
, Звенигород, Московская область, Россия, 1-5 октября 2018
2018
Influence of ion implantation of dielectrics on charging under electron beam irradiation
(Стендовый)
Авторы:
Tatarintsev A.A.
,
Zykova E.Yu
,
Rau E.I.
28th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-28)
, Кан, Франция, 2-6 июля 2018
2018
Электронно-индуцированная зарядка монокристаллов сапфира и кварца после их облучения ионами и протонами
(Стендовый)
Авторы:
Зыкова Е.Ю.
,
Иваненко И.П.
,
Татаринцев А.А.
,
Марковец К.Е.
,
Рау Э.И.
,
Миннебаев К.Ф.
XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
2017
Comparison of charge kinetics of dielectrics subjected to Preliminary electron or ion irradiation
(Устный)
Авторы:
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zykova E.Yu
,
Khvostov V.V.
,
Ivanenko I.P.
,
Haidarov A.A.
XXIII International Conference Ion – Surface Interactions «ISI – 2017»
, Россия, 21-25 августа 2017
2017
Модификация свойств многостенных углеродных нанотрубок с помощью ионного облучения
(Стендовый)
Авторы:
Кушкина К.Д.
,
Шемухин А.А.
,
Букунов К.А.
,
Черныш В.С.
,
Чеченин Н.Г.
,
Татаринцев А.А.
,
Миннебаев Д.К.
,
Данилов А.В.
47-я Международная Тулиновская конференция "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами"
, Москва, Россия, 30 мая - 1 июня 2017
2016
Experimental study of optical coefficients of nanometer-thick copper and gold films in microwave frequency range
(Стендовый)
Авторы:
Khorin I.
,
Orlikovsky N.
,
Tatarintsev A.
,
Pronin S.
,
Andreev V.
,
Vdovin V.
International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2016", October 3 - 7 , 2016, Moscow-Zvenigorod, Russia
, Москва- Звенигород, Россия, 3-7 октября 2016
2016
The features of charging -Z-cut single-domain ferroelectric LiTaO3
(Стендовый)
Авторы:
Markovets K.E.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2016", October 3 - 7 , 2016, Moscow-Zvenigorod, Russia
, Москва- Звенигород, Россия, 3-7 октября 2016
2016
Two methods of improving dopant contrast for semiconductor structures under thin surface layers in scanning electron microscope
(Стендовый)
Авторы:
Kolybin S.
,
Karaulov V.
,
Kupreenko S.
,
Rau E.
,
Tatarintsev A.
International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2016", October 3 - 7 , 2016, Moscow-Zvenigorod, Russia
, Москва- Звенигород, Россия, 3-7 октября 2016
2016
3-D reconstruction of surface topography in SEM by means of energy filtered SE and BSE
(Стендовый)
Авторы:
Kupreenko S.
,
Rau E.
,
Tatarintsev A.
,
Zaytsev S.
The 16th European Microscopy Congress
, Лион, Франция, 28 августа - 2 сентября 2016
2016
Charging kinetics features of different modifications of the Al2O3-dielectrics (sapphire, polycrystalline and ceramics) under electron-beam irradiation
(Стендовый)
Авторы:
Rau E.
,
Tatarintsev A.
,
Khaidarov A.
,
Kupreenko S.
The 16th European Microscopy Congress
, Лион, Франция, 28 августа - 2 сентября 2016
2016
Electron beam charging of preliminary ion-and electron-irradiated dielectrics
(Стендовый)
Авторы:
Zykova E.
,
Minnebaev K.
,
Tatarintsev A.
,
Ivanenko I.
,
Rau E.
,
Khaidarov A.
27th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-27)
, Ланьчжоу, Китай, 24-29 июля 2016
2016
Особенности кинетики зарядки различных модификаций диэлектрика Al2O3 (сапфира, поликристалла, керамики) при электроном облучении
(Стендовый)
Авторы:
Рау Э.И.
,
Хайдаров А.А.
,
Татаринцев А.А.
XXVI Российская конференция по электронной микроскопии и в рамках Конференции 4-я Школа молодых учёных «Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях наноструктур и наноматериалов
, г. Москва, Зеленоград, ул. Юности, дом 8 , Россия, 30 мая - 3 июня 2016
2016
Профилометрия рельефа поверхности с помощью отфильтрованных по энергии вторичных и отражённых электронов в сканирующем электронном микроскопе
(Стендовый)
Авторы:
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Купреенко С.Ю.
,
Зайцев С.В.
,
Балакин Д.А.
XXVI Российская конференция по электронной микроскопии и в рамках Конференции 4-я Школа молодых учёных «Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях наноструктур и наноматериалов
, г. Москва, Зеленоград, ул. Юности, дом 8 , Россия, 30 мая - 3 июня 2016
2015
Вторично-электронные, эмиссионные и зарядовые характеристики ионно-облученного сапфира.
(Устный)
Авторы:
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Хвостов В.В.
,
Юрасова В.Е.
XXII Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП - 2015" (Москва, Россия, 2015)
, Москва, Россия, 20-24 августа 2015
2015
Новые возможности и перспективы методов электронной спектроскопии в сканирующем электронном микроскопе.
(Устный)
Авторы:
Гостев А.В.
,
Дицман С.А.
,
Зайцев С.В.
,
Купреенко С.Ю.
,
Татаринцев А.А.
,
Толстов И.О.
,
Рау Э.И.
XIX Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел (РЭМ - 2015) и 3-я Школа молодых ученых "Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях наноструктур и наноматериалов"
, г. Черноголовка Московской обл., Россия, 1-5 июня 2015
2014
New possibilities of SEM for two-channel detection of energetically filtered secondary and backscattered electrons.
(Стендовый)
Авторы:
Rau E.I.
,
Kupreenko S.U.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zaitsev S.V.
18th International Microscopy Congress (IMC 2014)
, Prague, Чехия, 7-12 сентября 2014
2014
Denermination of the second critical energy of primary electrons in relation to dielectric thickness and angle of incidence.
(Устный)
Авторы:
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Evstaf'eva E.N.
18th International Microscopy Congress (IMC 2014)
, Prague, Чехия, 7-12 сентября 2014
2014
«Определение энергии облучающих электронов, не приводящей к зарядке диэлектрических мишеней»
Авторы:
Гостев А.В.
,
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Евстафьева Е.Н.
XXV Российская конференция по электронной микроскопии
, Черноголовка, Россия, 10 мая - 5 июня 2014
2014
Определение энергии облучающих электронов, не приводящей к зарядке диэлектрических мишеней.
Авторы:
Гостев А.В.
,
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
, Евстафьева Е.Н.
XXV Российская конференция по электронной микроскопии
, Черноголовка, Россия, 10 мая - 5 июня 2014
2013
«Возможные причины противоречий в определении некоторых параметров зарядки диэлектрических мишеней»
Авторы:
Гостев А.В.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
XVIII Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим метолам исследования твердых тел
, Московская область, г. Черноголовка, 2013
2013
«Отклонение электронного пучка, вызванное зарядкой диэлектрических пленок на проводящей подложке»
Авторы:
Князев М.А.
,
Рау Э.И.
,
Свинцов А.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Зайцев С.И.
XVIII Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим метолам исследования твердых тел
, Московская область, г. Черноголовка, 2013
2012
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithography
(Стендовый)
Авторы:
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
Micro- and Nanoelectronics – 2012
, Москва - Звенигород, Россия, Россия, 2012
2012
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithography
(Устный)
Авторы:
Evstafieva E.N.
,
Knjazev M.A.
,
Rau E.I.
,
Svintsov A.A.
,
Tatarintsev A.A.
, Zaitsev S.I.
International Conference “Micro- and Nanoelectronics -2012”, ICMNE-2012
, Москва, Эвенигород, Россия, 2012
2012
Сравнение методов измерения высоковольтных локальных потенциалов заряженных диэлектриков - электронноспектроскопического и порогового рентгеновского излучения
(Стендовый)
Авторы:
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Евстафьева Е.Н.
XXIV Российская конференция по электронной микроскопии 29.05-01.06.2012
, Черноголовка, 2012
2012
The reason of distinction of experimental values of dielectrics electron-beam charging times
(Стендовый)
Авторы:
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Евстафьева Е.Н.
15Th European Microscopy Congress (EMC 2012)
, Манчестер, Великобритания, 16-21 сентября 2012
2012
The reasons of distinctions of experimental values of dielectrics electron-beam charging times
(Устный)
Авторы:
Rau E.I.
,
Evstafeva E.N.
,
Tatarintsev A.A.
15Th European Microscopy Congress (EMC 2012)
, Манчестер, Великобритания, 16-21 сентября 2012
Тезисы докладов
2022
Влияние поверхностного потенциала диэлектрика на рост эмиссии положительных частиц при ионном облучении
Зыкова Е.Ю.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Озерова К.Е.
,
Орликовская Н.Г.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
51-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, тезисы, с. 57
2022
Исследование полимерных нанокомпозитов с различными углеродными наполнителями под действием электронного пучка
Воробьева Е.А.
,
Пешнина Д.О.
,
Татаринцев А.А.
,
Евсеев А.П.
,
Шемухин А.А.
в сборнике
51-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, тезисы, с. 157
2022
Эволюция спектров катодолюминесценции в процессе электризации диэлектриков
Зыкова Е.Ю.
,
Иешкин А.Е.
,
Озерова К.Е.
,
Орликовская Н.Г.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
51-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, тезисы, с. 137
2021
Change in charging state of insulators irradiated by charged particles of low and medium energy
Zykova E.Yu
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Gainullin I.K.
,
Ozerova K.E.
,
Khvostov V.V.
,
Minnebaev K.F.
в сборнике
Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2021 (ISI-2021), Труды XXV Международной конференции, 23-27 августа 2021, Ярославль, Россия, редакторы: Е.Ю. Зыкова, П.А. Карасев, А.И. Титов, В.Е. Юрасова
, место издания
Москва
, том 1, тезисы, с. 183-186
2021
Electron beam lithography on the surface with 3D relief
Myakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
,
Rudenko K.
в сборнике
Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. O1-08
редакторы
Лукичев Владимир Федорович
,
Руденко Константин Васильевич
2021
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
Myakonkikh A.
,
Shishlyannikov A.
,
Tatarintsev A.
,
Kuzmenko V.
,
Rudenko K.
,
Gornev E.
в сборнике
Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. O1-07
редакторы
Лукичев Владимир Федорович
,
Руденко Константин Васильевич
2021
Зарядка диэлектрических материалов при облучении электронами с энергией 0.2-30 кэВ
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Киселевский В.А.
в сборнике
СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ XXII МЕЖВУЗОВСКОЙ МОЛОДЕЖНОЙ НАУЧНОЙ ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ ИМЕНИ Б. С. ИШХАНОВА «КОНЦЕНТРИРОВАННЫЕ ПОТОКИ ЭНЕРГИИ В КОСМИЧЕСКОЙ ТЕХНИКЕ ЭЛЕКТРОНИКЕ, ЭКОЛОГИИ И МЕДИЦИНЕ» 22-23 ноября 2021 г
, издательство
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
(Москва)
, том 78, тезисы, с. 117-118
2021
Основные особенности зарядки диэлектрических материалов пучками ионов Ar+ с энергией 1-10 кэВ
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Зыкова Е.Ю.
в сборнике
СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ XXII МЕЖВУЗОВСКОЙ МОЛОДЕЖНОЙ НАУЧНОЙ ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ ИМЕНИ Б. С. ИШХАНОВА «КОНЦЕНТРИРОВАННЫЕ ПОТОКИ ЭНЕРГИИ В КОСМИЧЕСКОЙ ТЕХНИКЕ ЭЛЕКТРОНИКЕ, ЭКОЛОГИИ И МЕДИЦИНЕ» 22-23 ноября 2021 г
, издательство
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
(Москва)
, том 78, тезисы, с. 119-120
2020
ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ КОНТРАСТОВ ЭЛЕКТРОННОГО РЕЗИСТА HSQ ПРИ РАЗНЫХ МЕТОДАХ ПРОЯВЛЕНИЯ
Татаринцев А.А.
,
Шишлянников А.В.
,
Руденко К.В.
,
Рогожин А.Е.
,
Иешкин А.Е.
в сборнике
Международный форум «Микроэлектроника – 2020»: сборник тезисов
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. 179-182
2019
Charging of dielectrics under ion irradiation
Zykova E.
,
Ivanenko I.
,
Markovets K.
,
Minnebaev K.
,
Rau E.
,
Tatarintsev A.
,
Khvostov V.
в сборнике
Труды XXIV международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью" (ВИП-2019)
, место издания
Москва
, том 2, тезисы, с. 24-27
2019
Кластерные технологии обработки титана для медицинских имплантов
Пестов С.М.
,
Григоров В.В.
,
Сенатулин Б.Р.
,
Иешкин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Иваненко И.П.
,
Рябцев М.
,
Черныш В.С.
в сборнике
Тезисы докладов XLIX международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, место издания
КДУ Москва
, тезисы, с. 21-21
2019
Электронно-лучевая зарядка сапфира, предварительно облученного кластерными ионами аргона
Татаринцев А.А.
,
Иешкин А.Е.
,
Киреев Д.С.
,
Марковец К.Е.
в сборнике
Труды XXIV международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью" (ВИП-2019)
, место издания
Москва
, том 2, тезисы, с. 240-243
2018
Comparative study of the dependence of line edge roughness of resists patterns on its molecular structure
Sharapov A., Baranov G.,
Shishlyannikov A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Gushin O.
,
Rudenko K.V.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 178-178
2018
Determination of Al content in Al/Si thermomigration fabricated structures by X-ray diffraction
Lomov A.
, Belov A.Yu, Seredin B.,
Tatarintsev A.
, Simakin S.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 139-139
2018
E-beam lithography of dense 10 nm line/space pattern using the HSQ mask
Tatarintsev A.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
,
Shishlyannikov A.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 48-48
2018
Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Rudenko K.V.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 196-196
2018
Features of ferroelectric charging process and switching of the domains under electron beam irradiation
Tatarintsev A.A.
,
Rau E.I.
,
Markovets K.E.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 166-166
2018
The features of polar dielectrics charging under electron beam irradiation
Rau E.
,
Tatarintsev A.
,
Markovets K.
в сборнике
Book of abstracts European Conference on Applications of Polar Dielectrics
, место издания
Moscow, Russia
, тезисы, с. 77-77
2018
Зарядка и переключение вектора спонтанной поляризации сегнетоэлектриков при электронном облучении
Зотин К.В.
,
Марковец К.Е.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
Тезисы докладов XLVIII Международной Тулиновской Конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, тезисы, с. 77-77
2018
Электронно-индуцированная зарядка монокристаллов сапфира и кварца после их облучения ионами и протонами
Зыкова Е.Ю.
,
Иваненко И.П.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Марковец К.Е.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
Тезисы докладов XLVIII Международной Тулиновской Конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, тезисы, с. 159-159
2017
Comparison of charge kinetics of dielectrics subjected to preliminary electron or ion irradiation
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zykova E.Yu
,
Khvostov V.V.
,
Ivanenko I.P.
,
Haidarov A.A.
в сборнике
Труды XXIII Международной конференции Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2017
, место издания
Москва, Россия
, том 2, тезисы, с. 149-153
2017
Deep Silicon etching in cryo process for TSV 3D integration
Miakonkikh A.V.
,
Rogozhin A.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Gushin O.P.
,
Rudenko K.V.
,
Lukichev V.F.
в сборнике
Materials for advanced metallisation International workshop, Dresden, Germany, March 26-29, 2017
, тезисы
2016
3-D reconstruction of surface topography in SEM by means of energy filtered SE and BSE
Kupreenko S.
,
Rau E.
,
Tatarintsev A.
,
Zaytsev S.
в сборнике
European Microscopy Congress 2016 Volume 1: Instrumentation and Methods
, издательство
Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA
(Weinheim, Germany)
, том 1, тезисы, с. 881-882
DOI
2016
Charging kinetics features of different modifications of the Al2O3-dielectrics (sapphire, polycrystalline and ceramics) under electron-beam irradiation
Rau E.
,
Tatarintsev A.
,
Khaidarov A.
,
Kupreenko S.
в сборнике
European Microscopy Congress 2016 Volume 1: Instrumentation and Methods
, издательство
Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA
(Weinheim, Germany)
, том 1, тезисы, с. 865-866
DOI
2016
Electron beam charging of preliminary ion- and electron-irradiated dielectrics
Zykova E.
,
Minnebaev K.
,
Khaidarov A.
,
Ivanenko I.
,
Rau E.
,
Tatarintsev A.
в сборнике
Abstracts of 27th International conference on atomic collisions in solids (ICACS 27)
, место издания
Lanzhou, China
, тезисы, с. 96-97
2016
Etching/oxidation technology for sub-30nm Silicon nanowire array manifacturing
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.А.
, Rogozhin A.,
Rudenko K.
,
Orlikovsky A.
в сборнике
Book of abstract PESM 2016, May 9-10, Grenoble, France
, тезисы, с. P08
2016
Experimental study of optical coefficients of nanometer-thick copper and gold films in microwave frequency range
Khorin I.,
Orlikovsky N.
,
Tatarintsev A.
, Pronin S.,
Andreev V.
, Vdovin V.
в сборнике
International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2016”
, тезисы, с. 95
2016
Silicon ohmic lateral-contact MEMS switch for RF applications
Rogozhin A.,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
, Lebedev K., Kalnov V.,
Rudenko K.
,
Lukichev V.
в сборнике
International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2016”
, тезисы, с. 156
2016
Technology for fabrication of sub-20 nm silicon planar nanowires array
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
, Rogozhin A.,
Rudenko K.
в сборнике
International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2016”
, тезисы, с. 136
2016
The features of charging -Z-cut single-domain ferroelectric LiTaO3
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
, Марковец К.Е.
в сборнике
International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2016”
, тезисы, с. 96
2016
Two methods of improving dopant contrast for semiconductor structures under thin surface layers in scanning electron microscope
Rau E.
,
Tatarintsev A.
,
Kupreenko S.
,
Karaulov V.
,
Kolybin S.
в сборнике
Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2016" ICMNE - 2016 Book of abstracts
, место издания
ООО "МАКС Пресс" Москва
, тезисы, с. P1-54-P1-54
2016
Влияние имплантации ионов Zn+ на процесс зарядки сапфира электронным пучком
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Привезенцев В.В.
в сборнике
VI Всероссийская Конференция и школа молодых ученых и специалистов. Физические и физико–химические основы ионной имплантации
, место издания
Нижний Новгород
, тезисы, с. 143
2016
Зарядовые характеристики сапфира, имплантированного цинком
Татаринцев А.А.
,
Рау Э.И.
,
Привезенцев В.В.
в сборнике
Сборник тезисов Первого российского кристаллографического конгресса, Москва, ВДНХ, 21-26 ноября 2016 г
, место издания
ООО "НП-Принт" СПб
, тезисы, с. 184-184
2016
Особенности кинетики зарядки различных модификаций диэлектрика Al2O3 (сапфира, поликристалла, керамики) при электроном облучении
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Хайдаров А.А.
в сборнике
XXVI Российская конференция по электронной микроскопии. 30 мая – 3 июня 2016г. г. Москва Зеленоград. Тезисы докладов
, место издания
ИПТМ РАН г. Москва Зеленоград
, том 1, тезисы, с. 224-226
2016
Профилометрия рельефа поверхности с помощью отфильтрованных по энергии вторичных и отражённых электронов в сканирующем электронном микроскопе
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Купреенко С.Ю.
,
Зайцев С.В.
,
Балакин Д.А.
в сборнике
XXVI Российская конференция по электронной микроскопии. 30 мая – 3 июня 2016г. г. Москва Зеленоград. Тезисы докладов
, место издания
ИПТМ РАН г. Москва Зеленоград
, том 1, тезисы, с. 226-227
2016
Формирование и диагностика элементов кремниевой фотоники
Байдакова Н.А.
,
Красильник З.Ф.
, Кудрявцев К.Е.,
Лукичев В.Ф.
, Морозова Е.Е., Новиков А.В.,
Орликовский Н.А.
, Сергеев С.М.,
Скороходов Е.В.
, Степихова М.В.,
Татаринцев А.А.
в сборнике
Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2016»
, тезисы, с. 167
2015
Вторично-электронные, эмиссионные и зарядовые характеристики ионно-облученного сапфира
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Хвостов В.В.
,
Юрасова В.Е.
в сборнике
Труды 22-й Международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП 2015)", Москва, 20–24 августа 2015
, место издания
НИЯУ МИФИ Москва
, том 1, тезисы, с. 358-361
2015
Новые возможности и перспективы методов электронной спектроскопии в сканирующем электронном микроскопе
Рау Э.И.
,
Гостев А.В.
,
Дицман С.А.
,
Зайцев С.В.
,
Купреенко С.Ю.
,
Татаринцев А.А.
,
Толстов И.О.
в сборнике
XIX Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел . Тезисы докладов
, тезисы, с. 94-95
2015
Сравнение кинетических (катодолюминисцентных, эмиссионных и зарядовых) характеристик диэлектриков при электронном облучении
Евстафьева Е.Н.
,
Девятов И.А.
, Крупатин И.Н.,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
XIX Российский симпозиум по электронной микроскопии (2015)
, тезисы, с. 244-245
2014
Determination of the second critical energy of primary electrons in relation to dielectric thickness and angle of incidence
Evstafeva E.N.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в сборнике
Proceedings of 18-th International Microscopy Congress
, место издания
Prague
, тезисы, с. IT-4-P-1829
2014
Experimental and computational thickness determination of ultra-thin surface films using backscattered electrons spectra in SEM
Kupreenko S.
,
Orlikovsky N.
,
Rau E.
,
Tagachenkov A.
,
Tatarintsev A.
в сборнике
International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
, место издания
Moscow-Zvenigorod, Russia
, тезисы, с. P1-30-P1-30
2014
Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) to ecth-resistance at different doses of exposure
Ivanenko I.P.
,
Kalnov V.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Orlikovsky N.A.
,
Tatarintsev A.A.
в сборнике
International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
, место издания
Moscow-Zvenigorod, Russia
, тезисы, с. O1-13
2014
New possibilities of SEM for two-channel detection of energetically filtered secondary and backscattered electrons
Rau E.I.
,
Kupreenko S.U.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zaitsev S.V.
в сборнике
Proceedings of 18-th International Microscopy Congress
, место издания
Prague
, тезисы, с. 378 (IT-4-P-1852)-379
2014
Определение энергии облучающих электронов, не приводящих к зарядке диэлектрических мишеней
Гостев А.В.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
XXIV Российская конференция по электронной микроскопии
, тезисы, с. 232-233
2013
Возможные причины противоречий в определении некоторых параметров зарядки диэлектрических мишеней
Гостев А.В.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
Тезисы докладов XVIII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. Черноголовка. 03-06.06.2013
, место издания
ИПТМ РАН Черноголовка
, тезисы, с. 88
2013
Отклонение электронного пучка, вызванное зарядкой диэлектрических пленок на проводящей подложке
Князев М.А.
,
Рау Э.И.
,
Свинцов А.А.
,
Татаринцев А.А.
, Зайцев С.И.
в сборнике
Тезисы докладов XVIII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. Черноголовка. 03-06.06.2013
, место издания
ИПТМ РАН Черноголовка
, тезисы, с. 116
2013
Рентгеновский микроанализ частиц диоксида урана при низкой энергии электронов зонда
Дюков В.Г.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Стебельков В.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Хорошилов В.В.
в сборнике
Тезисы докладов XVIII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. Черноголовка. 03-06.06.2013
, место издания
ИПТМ РАН Черноголовка
, тезисы, с. 226
2012
On ball lightning influence on a mirror
Bychkov V.L.
,
Eisaks E.
,
Zharik G.A.
,
Nizovtsev V.V.
,
Ivanenko I.P.
,
Rau E.I.
,
Orlikovsky N.A.
,
Tatarintsev A.A.
в сборнике
11th international workshop on magneto-plasma aerodynamics (Abstracts). Moscow (2012), pp. 95-96
, место издания
Moscow
, тезисы, с. 377-380
2012
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithography
Evstafjeva E.N.
,
Knjazev M.A.
,
Rau E.I.
,
Svintsov A.A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Zaitsev S.I.
в сборнике
International Conference “Micro- and Nanoelectronics – 2012”. Abstr. Book
, место издания
Moscow-Zvenigorod, Russia, 1-5 October
, тезисы, с. P2-25
2012
The reason of distinction of experimental values of dielectrics electron-beam charging times
Rau E.I.
,
Evstafjeva E.N.
,
Tatarintsev A.A.
в сборнике
The 15th European Microscopy Congress (2012)
, тезисы, с. 103
2012
О взаимодействии шаровой молнии со стеклом
Бычков В.Л.
,
Жарик Г.А.
, Низовцев В.В.,
Орликовский Н.А.
, Осокин А.С.,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
Материалы 18-й РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ ПО ХОЛОДНОЙ ТРАНСМУТАЦИИ ЯДЕР ХИМИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И ШАРОВОЙ МОЛНИИ. Криница, Краснодарский край 4-11 Сентября 2011
, место издания
МАТИ Москва
, тезисы, с. 30
2012
Сравнение методов измерения высоковольтных локальных потенциалов заряженных диэлектриков - электронноспектроскопического и порогового рентгеновского излучения
Евстафьева Е.Н.
,
Князев М.Н.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
Тезисы докладов XXIV Российской конференции по электронной микроскопии 29.05-01.06.2012
, место издания
ИПТМ РАН Черноголовка
, тезисы, с. 276
2011
Electron-beam diagnostics microtomography and spectroscopy of microelectronics device structures
Orlikovsky N.A.
,
Rau E.I.
,
Tatarintsev A.A.
в сборнике
37th International Conference on Micro and Nano Engineering
, тезисы, с. 77
2011
Влияние толщины диэлектрических плёнок на их параметры зарядки электронами средних энергий
Татаринцев А.А.
в сборнике
Конф. молодых ученых "Физико-химия и технология неорганических материалов"
, тезисы, с. 637
2011
О взаимосвязи основных параметров зарядки массивных и пленочных диэлектриков при электронном облучении
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
Тезисы докладов XVII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел
, место издания
Черноголовка
, тезисы, с. 64
2011
Электронно-зондовый томографический комплекс на базе РЭМ для диагностики микро- и наноструктур
Рау Э.И.
,
Гостев А.В.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Орликовский Н.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Трубицын А.В.
в сборнике
Фундаментальные и прикладные исследования, разработка и применение высоких технологий в промышленности и экономике
, тезисы, с. 285
2010
Уточнение представлений о механизме зарядки диэлектрических мишеней
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Сеннов Р.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Фрейнкман Б.Г.
в сборнике
Тезисы докладов XXIII Российской конференции по электронной микроскопии
, место издания
Черноголовка
, тезисы, с. 101
2009
Моделирование зарядки диэлектрических мишеней под воздействием электронного облучения
Милеев В.Н.
,
Новиков Л.С.
,
Евстафьева Е.Н.
,
Рау Э.И.
,
Сеннов Р.А.
,
Татаринцев А.А.
в сборнике
X Межвузовская научная школа молодых специалистов
, тезисы, с. 259-264
НИРы
1 января 2023 - 31 декабря 2024
Радиационная электризация диэлектриков и сегнетоэлектриков пучками заряженных частиц
Кафедра физической электроники
Руководитель:
Татаринцев А.А.
Участники НИР:
Зыкова Е.Ю.
,
Орликовская Н.Г.
28 июля 2021 - 30 июня 2024
Пучки газовых кластерных ионов для модификации и диагностики многокомпонентных и многофазных материалов
Кафедра физической электроники
Руководитель:
Иешкин А.Е.
Ответственные исполнители:
Гайнуллин И.К.
,
Татаринцев А.А.
Участники НИР:
Беляев М.Е.
,
Ермаков Ю.А.
,
Завильгельский А.Д.
,
Киреев Д.С.
,
Озерова К.Е.
20 апреля 2021 - 31 декабря 2023
Модифицирование поверхности материалов пучками газовых кластерных ионов
Физический факультет
Руководитель:
Черныш В.С.
Ответственные исполнители:
Иешкин А.Е.
,
Назаров А.В.
,
Татаринцев А.А.
Участники НИР:
Балакшин Ю.В.
,
Завильгельский А.Д.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Шемухин А.А.
13 декабря 2018 - 31 декабря 2020
Проведение теоретических и экспериментальных исследований и технических разработок, направленных на оптимизацию технологии формирования кластерных пучков и пучково-кластерной модификации поверхностей углеродных материалов, металлов и сплавов медицинского назначения
Кафедра физической электроники
Руководитель:
Черныш В.С.
Участники НИР:
Иваненко И.П.
,
Иешкин А.Е.
,
Киреев Д.С.
,
Миннебаев Д.К.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Савченко Н.Ф.
,
Татаринцев А.А.
9 октября 2018 - 10 ноября 2020
Модификация рельефа и структуры поверхности различных материалов пучками атомарных и кластерных ионов для оптоэлектронных и биомедицинских приложений
Лаборатория ионно-пучковых нанотехнологий
Руководитель:
Шемухин А.А.
Ответственные исполнители:
Балакшин Ю.В.
,
Воробьева Е.А.
,
Евсеев А.П.
,
Ермаков Ю.А.
,
Назаров А.В.
Участники НИР:
Иешкин А.Е.
,
Киреев Д.С.
,
Татаринцев А.А.
1 января 2018 - 31 декабря 2020
Процессы зарядки диэлектриков под воздействием ионных и электронных пучков
Кафедра физической электроники
Руководитель:
Зыкова Е.Ю.
Ответственные исполнители:
Миннебаев К.Ф.
,
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
Участники НИР:
Зайцев С.В.
,
Иваненко И.П.
,
Озерова К.Е.
,
Хайдаров А.А.
1 января 2016 - 31 декабря 2025
Модификация и анализ поверхности ионным облучением и электронная микроскопия
Физический факультет
Руководитель:
Черныш В.С.
Участники НИР:
Гайнуллин И.К.
,
Завидовский И.А.
,
Зайцев С.В.
,
Зыкова Е.Ю.
,
Иваненко И.П.
,
Иешкин А.Е.
,
Киреев Д.С.
,
Кононина А.В.
,
Коробова О.П.
,
Лукьянов А. .
,
Миннебаев Д.К.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Нищак О.Ю.
,
Озерова К.Е.
,
Потапкина И.Ю.
,
Рау Э.И.
,
Савченко Н.Ф.
,
Стрелецкий О.А.
,
Татаринцев А.А.
,
Третьяков Н.Е.
,
Третьяков Н.Е.
,
Хайдаров А.А.
,
Хвостов В.В.
,
Юрасова В.Е.
3 февраля 2015 - 31 декабря 2016
Разработка электронно-зондовых методов диагностики микро- и наноструктур на основе сканирующей электронной микроскопии, электронной спектроскопии и микротомографии
Физический факультет
Руководитель:
Рау Э.И.
Участники НИР:
Зайцев С.В.
,
Купреенко С.Ю.
,
Лукьянов А. .
,
Татаринцев А.А.
,
Хайдаров А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2017
Особенности вторичной эмиссии заряженных и нейтральных частиц из металлов и полупроводников. Квантовый и синергический эффекты.
Физический факультет
Руководитель:
Зыкова Е.Ю.
Ответственные исполнители:
Рау Э.И.
,
Татаринцев А.А.
,
Хвостов В.В.
Участники НИР:
Евстафьева Е.Н.
,
Иваненко И.П.
,
Купреенко С.Ю.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Озерова К.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Хайдаров А.А.
,
Хвостов В.В.
,
Юрасова В.Е.
1 октября 2014 - 31 декабря 2016
Разработка лабораторного стенда и элементов кластерной технологии планаризации поверхности диэлектрических материалов (сапфир, кварцевое стекло) для создания нового поколения приборов и устройств для различных отраслей промышленности
Физический факультет
Руководитель:
Черныш В.С.
Участники НИР:
Евстафьева Е.Н.
,
Иешкин А.Е.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Татаринцев А.А.
,
Тимохин М.Ю.
Патенты
2021
Антидинатронное покрытие на основе полимерной матрицы с включением углеродных нанотрубок и способ его получения
Авторы:
Татаринцев А.А.
,
Воробьева Е.А.
,
Шемухин А.А.
,
Чеченин Н.Г.
#RU 2745976 C1, 5 апреля
2020
Устройство для ионизации кластерных ионов
Авторы:
Иешкин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
#RU 2728513, 30 июля
Награды и премии
2020
Стипендия Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова молодым преподавателям и научным сотрудникам на 2020 год
Лауреат:
Татаринцев Андрей Андреевич
МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия
2018
Стипендия Московского государственного университета имени М.В.Ломоносова молодым преподавателям и научным сотрудникам на 2019 год
Лауреат:
Татаринцев Андрей Андреевич
МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия
Стажировки в организациях
29 ноября 2021 - 10 декабря 2021
МГУ им. М.В. Ломоносова, Россия
19 августа 2015 - 24 августа 2015
Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Россия
Руководство диссертациями
2022
Особенности зарядки сегнетоэлектриков LiTaO3 и LiNbO3 при электронном и ионном облучении
Кандидатская диссертация по специальности 1.3.5 - Физическая электроника (физ.-мат. науки)
Автор:
Озерова Ксения Евгеньевна
Научные руководители:
Рау Эдуард Иванович
, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова,
Татаринцев Андрей Андреевич
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
МГУ.013.7(01.12)
МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет
Организация, в которой выполнялась работа:
кафедра физической электроники физического факультета МГУ имени М.В. Ломоносова
Оппоненты:
Новиков Лев Симонович
,
Бачурин Владимир Иванович
,
Коханчик Людмила Сергеевна
Объявление о защите
Диссертация
2013
Основные закономерности зарядки диэлектриков и сегнетоэлектриков электронами средней энергий.
Кандидатская диссертация по специальности 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах (физ.-мат. науки)
Автор:
Татаринцев Андрей Андреевич
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научный руководитель:
Рау Э.И.
, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д 002.081.01
при ИПТМ РАН
Организация, в которой выполнялась работа:
Институт проблем микроэлектроники и особо чистых материалов Российской академии наук
Руководство дипломными работами
2023
Моделирование электрических полей локально заряженных областей диэлектриков
Научный руководитель:
Татаринцев Андрей Андреевич
Автор: Киселевский В.А. (Магистр)
2021
Моделирование полей зарядки диэлектриков при электронном облучении
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Киселевский В.А. (Бакалавр)
2021
Зарядка х-среза сегнетоэлектриков танталата лития и ниобата лития ионными пучками
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Бовбыр Г.И. (Бакалавр)
2020
Экспериментальное исследование зарядки алмазов при электронном облучении
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Гареев А.М. (Бакалавр)
2019
Формирование контраста изображений при исследовании диэлектрических образцов в сканирующем электронном микроскопе
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Подбуцкий Н.Г. (Магистр)
2019
Изучение зарядки диэлектриков и свободно взвешенных металлов при ионном облучении
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Дибров Д.А. (Бакалавр)
2018
Механизм зарядки сегнетоэлектрика ниобата лития под воздействием электронного облучения
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Зотин К.В., (Магистр)
2017
Применение маски позитивного электронного резиста для создания субмикронных шин металлизации методом гальванического осаждения
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Бюрисюк Д.А. (Магистр)
2017
Особенности зарядки сегнетоэлектриков под воздействием электронного облучения
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Марковец Ксения Евгеньевна (Магистр)
2017
Исследование новых возможностей, сфер применения и свойств негативного электронного резиста на основе водород- силсесквиоксана (HSQ)
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Горячев Николай Игоревич (Магистр)
Руководство курсовыми работами
2022
Топографический и композиционный контраст при детектировании отраженных электронов в сканирующем электронном микроскопе
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Маляров Михаил Дмитриевич (Специалист)
2022
Рентгеновский микроанализ в сканирующем электронном микроскопе
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Стрыгин Никита Алексеевич (Специалист)
2021
Зарядка диэлектрических материалов электронными и ионными пучками
Научный руководитель:
Татаринцев А.А.
Автор: Кухарь Ю.А. (Бакалавр)
Авторство учебных курсов
2023
Элементная и приборная база физической электроники
Авторы:
Иешкин А.Е.
,
Миннебаев К.Ф.
,
Татаринцев А.А.
2017
Практическая полупроводниковая электроника и основы автоматизации эксперимента
Автор:
Татаринцев Андрей Андреевич
Преподавание учебных курсов
6 сентября 2021 - 20 декабря 2021
Практическая полупроводниковая электроника и основы автоматизации эксперимента
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
3 сентября 2021 - 17 декабря 2021
Электронная микроскопия и микроанализ
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
1 сентября 2021 - 29 сентября 2021
Электронно-зондовая диагностика материалов и приборов микроэлектроники
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 10 часов
7 сентября 2020 - 28 сентября 2020
Электронно-зондовая диагностика материалов и приборов микроэлектроники
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 8 часов
4 сентября 2020 - 18 декабря 2020
Практическая полупроводниковая электроника и основы автоматизации эксперимента
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
4 сентября 2020 - 18 декабря 2020
Электронная микроскопия и микроанализ
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
2 сентября 2019 - 23 декабря 2019
Практическая полупроводниковая электроника и основы автоматизации эксперимента
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
2 сентября 2019 - 23 декабря 2019
Электронная микроскопия и микроанализ
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
5 сентября 2018 - 19 декабря 2018
Электронная микроскопия и микроанализ
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
3 сентября 2018 - 10 декабря 2018
Практическая полупроводниковая электроника и основы автоматизации эксперимента
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
5 сентября 2017 - 19 декабря 2017
Практикум твердотельной электроники
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, базовой части, лабораторные занятия, 108 часов
5 сентября 2017 - 19 декабря 2017
Практическая полупроводниковая электроника и основы автоматизации эксперимента
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
1 сентября 2017 - 15 декабря 2017
Электронная микроскопия и микроанализ
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
11 февраля 2017 - 3 июня 2017
Практикум твердотельной электроники
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, базовой части, лабораторные занятия, 102 часов
10 февраля 2017 - 26 мая 2017
«Практическая полупроводниковая электроника»
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
5 сентября 2016 - 19 декабря 2016
Электронная микроскопия и микроанализ
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение радиофизики
,
Кафедра физической электроники
обязательная, по выбору (спецкурс), семинары, 32 часов
2 сентября 2016 - 23 декабря 2016
Практикум твердотельной электроники
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение радиофизики
,
Кафедра физической электроники
обязательная, базовой части, лабораторные занятия, 102 часов
9 февраля 2016 - 24 мая 2016
Практическая полупроводниковая электроника
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение радиофизики
,
Кафедра физической электроники
факультативная, семинары, 32 часов
5 февраля 2016 - 20 мая 2016
Компьютерный практикум кафедры физической электроники
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение радиофизики
,
Кафедра физической электроники
обязательная, базовой части, практические занятия, 102 часов