Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазмедоклад на конференции
Авторы:
Брагинский О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Васильева А.Н. ,
Олеванов М.А.
Конференция :
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
Даты проведения конференции:
2006
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
не указан
не указан
Брагинский О.В.
Ковалев А.С.
Лопаев Д.В.
Манкелевич Ю.А.
Волошин Д.Г.
Прошина О.В.
Рахимова Т.В.
Васильева А.Н.
Олеванов М.А.
Место проведения:
Columbus, Ohio, USA
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович