Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, возможность загрузки и скачивания файлов временно недоступна.
скрыть
отправить сообщение
Лопаев Дмитрий Викторович
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, ведущий научный сотрудник, с 1 апреля 1988
кандидат физико-математических наук с 1993 года
Соавторы:
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Ковалев А.С.
,
Клоповский К.С.
,
Васильева А.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Зырянов С.М.
,
Прошина О.В.
,
Брагинский О.В.
,
Попов Н.А.
,
Иванов В.В.
,
Зотович А.И.
,
Baklanov M.R.
показать полностью...
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Богданова М.А.
,
Malykhin E.M.
,
Rulev G.B.
,
Krivtsun V.M.
,
Белостоцкий С.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Bijkerk F.
,
Lee C.J.
,
Yakushev O.F.
,
Braginsky O.V.
,
Курчиков К.А.
,
Намиот В.А.
,
Палов А.П.
,
Malykhin E.M.
,
Muratov E.A.
,
Попов А.М.
,
Чукаловский А.А.
,
Гуляев К.С.
,
Долгов А.Д.
,
Кривченко В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Суетин Н.В.
,
Astakhov D.I.
,
Carroll D.L.
,
Chatterjee A.
,
Koshelev K.N.
,
SLOVETSKY D.
,
Volynets V.N.
,
Абрикосов А.А.
,
Озеренко А.А.
,
Balandin A.A.
,
Blyablin A.
,
Booth J.
,
Feoktistov V.
,
Guaitella O.
,
Guerra V.
,
IVANOV V.V.
,
Kim T.
,
Kolobyanin Y.V.
,
Kong J.T.
,
Krishtab M.B.
,
Saenko V.B.
,
Wang S.
,
Zoethout E.
,
van Kaampen M.
,
Долгов А.Н.
,
Маслаков К.И.
,
Медведев А.С.
,
Медведев В.В.
,
Мележенко Д.Е.
,
Поповичева О.Б.
,
Резванов А.А.
,
Саенко В.Б.
,
Сычева А.А.
,
Якушев О.Ф.
,
Afanas'ev V.V.
,
Attallah A.G.
,
Benschop J.P.
,
Bijkerk F.
,
Booth J.
,
Butterling M.
,
Chanson R.
,
Clemente I.
,
Dolgov A.
,
Drag C.
,
Economou A.N.
,
Glushkov D.
,
Goedheer W.J.
,
Guaitella O.
,
Gubarev V.
,
He P.
,
Hirschmann E.
,
J-P B.
,
Jousseaume V.
,
KOVALEV A.
,
Kask A.N.
,
Kopytin A.A.
,
Koshelev K.
,
Krainov P.V.
,
Lee C.J.
,
Liedke M.O.
,
Lin Z.
,
Malykhin E.M.
,
Nahon L.
,
Naumov S.
,
Nigel H.
,
Novikova N.N.
,
Osorio E.A.
,
Pirogov V.G.
,
Rakhlinsky V.V.
,
Reinink J.
,
Reshetnyak V.
,
Samara V.
,
Santos S.J.
,
Savin Y.V.
,
Seregin D.S.
,
Shi X.
,
Shohet J.L.
,
Vishnevskiy A.
,
Vishnevskiy A.S.
,
Vlasov M.N.
,
Vorotilov K.A.
,
Vorotilov K.
,
Vorotyntsev D.A.
,
Wagner A.
,
Xin-Ping Q.
,
Yakushev O.
,
Yingjie W.
,
Zoethout E.
,
and S Zyryanov D.V.
,
de Marneffe J.F.
,
de Marneffe J.
,
de Oliveira N.
,
el O.Z.
,
van den Bos R.A.
,
van der Horst R.M.
,
Амиров И.И.
,
Белянин А.Ф.
,
Брагинский В.Б.
,
Волынец В.Н.
,
Дамбраускас С.Г.
,
Каск А.Н.
,
Ковалев A.C.
,
Ковалев С.П.
,
Корнев В.К.
,
Корса С.Я.
,
Кропоткин А.Н.
,
Минаков П.В.
,
Мяконьких А.В.
,
Павлушкин Л.В.
,
Паль А.Ф.
,
Пащенко П.В.
,
Поляков С.Н.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серегин Д.С.
,
Серов А.О.
,
Словецкий Д.И.
,
Сущенцов Н.И.
,
Тимофеев М.А.
,
Ткаченко И.С.
,
Ткаченко С.Н.
,
Трифонов А.С.
,
Шамирян Д.
203 статьи
,
6 книг
,
60 докладов на конференциях
,
14 тезисов докладов
,
22 НИР
,
10 патентов
,
3 награды
,
1 диссертация
,
17 дипломных работ
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 1426, Scopus: 1599
РИНЦ:
IstinaResearcherID (IRID): 719408
ResearcherID:
E-3067-2012
Scopus Author ID:
6602727069
ORCID:
0000-0003-4975-3487
Деятельность
Статьи в журналах
2022
Dynamics of H atoms surface recombination in low-temperature plasma
Gubarev V.
,
Lopaev D.
,
Zotovich A.
,
Medvedev V.
,
Krainov P.
,
Astakhov D.
,
Zyryanov S.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 132, № 19, с. 193301
DOI
2022
Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Zyryanov S.M.
,
Bogdanova Maria
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Novikova N.N.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vishnevskiy Alexey
,
Vorotilov Konstantin
,
Shi Xiaoping
,
Baklanov Mikhail
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 55, № 25, с. 255206
DOI
2022
Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
DOI
2022
Experimental study of transition from electron beam to rf power controlled plasma in DF CCP in argon with additional ionization by an electron beam
Zotovich Alexey
,
Lopaev Dmitry
,
Bogdanova Maria
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
DOI
2022
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
Zotovich Alexey I.
,
Zyryanov Sergey M.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Rezvanov Askar A.
,
Attallah Ahmed G.
,
Liedke Maciej O.
,
Butterling Maik
,
Bogdanova Maria A.
,
Vishnevskiy Alexey S.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vorotyntsev Dmitry A.
,
Palov Alexander P.
,
Hirschmann Eric
,
Wagner Andreas
,
Naumov Sergej
,
Vorotilov Konstantin A.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
ACS Applied Electronic Materials
, издательство
American Chemical Society
(United States)
, том 4, № 6, с. 2760-2776
DOI
2022
Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Volynets A.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Chukalovsky A.
,
Mankelevich Yu
,
Guerra V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 31, № 6, с. 065012
DOI
2022
Исследование воздействия атомов H, N и O на квазидвумерный дисульфид молибдена
Мележенко Д.Е.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Воронина Е.Н.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 48, № 22, с. 28
DOI
2021
“Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Zotovich A.
,
Zyryanov S.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, с. 075020
DOI
2020
Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 53, с. 175203
DOI
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Santos Sousa J.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 11, с. 115009
DOI
2020
Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
Lopaev D.V.
,
Bogdanova M.A.
,
Volynets A.V.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 2, с. 025026-1-025026-8
DOI
2020
Fast quenching of metastable O2(a1Δg) and O2(b1Σg+) molecules by O(3P) atoms at high temperature
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Proshina O.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Booth Jean-Paul
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Mankelevich Y.A.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, № 2, с. e1900165
DOI
2020
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
Pal Alexander Fridrikhovich
,
Ryabinkin Alexey Nikolaevich
,
Serov Alexander Olegovich
,
Lopaev Dmitry
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov Mikhail
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 53, № 29, с. 295202
DOI
2019
Impact of VUV photons on SiO2 and organosilicate low-k dielectrics: General behavior, practical applications, and atomic models
Baklanov M.R.
,
Jousseaume V.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Afanas'ev V.V.
,
Shohet J.L.
,
King S.W.
, Ryan E.T.
в журнале
APPLIED PHYSICS REVIEWS
, том 6, № 1, с. 011301
DOI
2019
Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin D.G.
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, № 9, с. 095017
DOI
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
Booth J.P.
,
Guaitella O.
,
Chatterjee A.
,
Drag C.
,
Guerra V.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, с. 055005
DOI
2019
Reaction mechanism of N atoms interaction with low-k organosilicate glass films: Dynamic DFT study
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 37, с. 061304
DOI
2019
Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Bogdanova M.A.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 52, № 39, с. 395203
DOI
2018
A non-destructive, fast evaluation of PVD diffusion barriers deposited on porous low-k dielectrics
Yingjie Wang
,
Peng He
,
Jing Zhang
, Jiang Yan,
Lopaev D.V.
,
Xin-Ping Qu
,
Baklanov M.R.
в журнале
Microelectronic Engineering
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 198, с. 22
DOI
2018
Influence of internal stress and layer thickness on the formation of hydrogen induced thin film blisters in Mo/Si multilayers
van den Bos R.A.J.M
,
Reinink J.
,
Lopaev D.V.
,
Lee C.J.
,
Benschop J.P.H
,
Bijkerk F.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, с. 115302
DOI
2018
Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
Zotovich Alexey
,
Rezvanov Askar
,
Chanson Romain
,
Zhang Lin
,
Hacker Nigel
,
Kurchikov Konstantin Alekseevich
, Klimin Sergey,
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.
,
Gornev Evgeny
,
Clemente Iosif
,
Miakonkikh Andrew
,
Maslakov K.I.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 32, с. 325202
DOI
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 36, с. 364002
DOI
2018
Plasma-assisted oxide removal from ruthenium-coated EUV optics
Dolgov A.
,
Lee C.J.
,
Bijkerk F.
,
Abrikosov A.
,
Krivtsun V.M.
,
Lopaev D.
,
Yakushev O.
,
van Kampen M.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 123, с. 153301
DOI
2018
Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin Dmitry
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 27, № 2, с. 025003
DOI
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 2, с. 02LT02
DOI
2018
Synergistic effect of VUV photons and F atoms on damage and etching of porous organosilicate film
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, с. e1700213
DOI
2017
Actinometry of O, N and F atoms
Lopaev D.V.
,
Volynets A.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 50, № 7, с. 075202
DOI
2017
Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Zotovich Alexey
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 50, с. 485202
DOI
2017
Dynamics of the Ion Energy Spectrum in EUV-Induced Hydrogen Plasma
Abrikosov A.A.
,
Yakushev O.F.
,
Lopaev D.V.
,
Krivtsun V.M.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 43, № 6, с. 614-620
DOI
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, с. 111
DOI
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, № 5, с. 126
DOI
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Zotovich Alexey
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimov A.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, с. 075005
DOI
2017
Numerical simulations based on probe measurements in EUV-induced hydrogen plasma
Abrikosov A.
,
Reshetnyak V.
,
Astakhov D.
,
Dolgov A.
,
Yakushev O.
,
Lopaev D.
,
Krivtsun V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, с. 045011
DOI
2017
Photoabsorption and damage of OSG low-k films by VUV emission at 140-160 nm
Lopaev D.V.
,
Rakhlinsky V.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Kurchikov K.A.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, с. e1700166
DOI
2016
Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
Zotovich A.
,
Proshina O.
,
el Otell Z.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Rakhimov A.
,
de Marneffe J.F.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 25, № 5, с. 055001
DOI
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
Palov A.P.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 34, № 4, с. 041205
DOI
2016
Exploring the electron density in plasma induced by EUV radiation: I. Experimental study in hydrogen
van der Horst R.M.
, Beckers J.,
Osorio E.A.
, Astakhov D.I., Goedheer W.J., Lee C.J., Ivanov V.V., Krivtsum V.M., Koshelev K.N.,
Lopaev D.V.
,
Bijkerk F.
, Banine V.Y.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 14, с. 145203
DOI
2016
Exploring the electron density in plasma induced by EUV radiation: II. Numerical studies in argon and hydrogen
Astakhov D.I., Goedheer W.J.,
Lee C.J.
, Ivanov V.V., Krivtsun V.M., Koshelev K.N.,
Lopaev D.V.
, van der Horst R.M., Beckers J., Osorio E.A., Bijkerk F.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 29, с. 145204
DOI
2016
Ion flux and energy virtual sensor for measuring ion flux and energy distribution at a RF biased electrode in ICP reactor (RIE-mode)
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 768, с. 012016
DOI
2016
Mechanism of N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in pure nitrogen plasma
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 768, с. 012006
DOI
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 34, с. 345203
DOI
2016
“Virtual IED sensor” at an rf-biased electrode in low-pressure plasma
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 23, с. 073510
DOI
2015
Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source
Dolgov A.
,
Lopaev D.
,
Lee C.J.
,
Zoethout E.
,
Medvedev V.
,
Yakushev O.
,
Bijkerk F.
в журнале
Applied Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 353, с. 708-713
2015
Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source
Dolgov A.
,
Lopaev D.
,
Lee C.J.
,
Zoethout E.
,
Medvedev V.
,
Yakushev O.
,
Bijkerk F.
в журнале
Applied Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 353, с. 708-713
DOI
2015
Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source
Dolgov A.
,
Lopaev D.
,
Lee C.J.
,
Zoethout E.
,
Medvedev V.
,
Yakushev O.
,
Bijkerk F.
в журнале
Applied Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 353, с. 708-713
DOI
2015
Characterization of carbon contamination under ion and hot atombombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source
Dolgov A.,
Lopaev D.
, Lee C.J., Zoethout E., Medvedev V.,
Yakushev O.
, Bijkerk F.
в журнале
Applied Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 353, с. 708-713
DOI
2015
Experimental and theoretical study of RF capacitively coupled plasma in Ar–CF4–CF3I mixtures
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Samara V.
,
Baklanov M.R.
,
de Marneffe J-F
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 24, с. 055006
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Kurchikov K.A.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
,
Proshina O.V.
,
Maslakov K.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.A.
, Novikova N.N., Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
2015
Plasma probe characteristics in low density hydrogen pulsed plasmas
Astakhov D.I.
,
Goedheer W.J.
,
Lee C.J.
,
Ivanov V.V.
,
Krivtsun V.M.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.V.
,
Bijkerk F.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 24, № 5, с. 055018
DOI
2014
Comparison of H 2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
Dolgov A.
,
Lopaev D.
,
Rachimova T.
,
Kovalev A.
,
Vasil’eva A.
,
Lee C.J.
,
Krivtsun V.M.
,
Yakushev O.
,
Bijkerk F.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 47, № 6, с. 065205
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
, Novikova N.N.,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 47, № 2, с. 025102
DOI
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
, Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале
Applied Physics Letters
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 102, № 11, с. 111902
DOI
2013
Nitrogen atoms influence on associative ionization in nitrogen plasma
Volynets A.
,
Zotovich A.
,
Lopaev D.
,
Ziryanov S.
, Popov N.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 58, № 8
2013
Space--time evolution of low-pressure H2 plasma induced by runaway photoelectrons produced by KrF laser pulse
Zotovich A.
,
Volynets A.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Koshelev K.
,
Krivtsun V.
, Astakhov D.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 58, № 8
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Braginsky O.
,
Kovalev A.
,
Lopaev D.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Vasilieva A.
,
Voloshin D.
,
Zyryanov S.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 45, № 1, с. 015201-015201
DOI
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges,
Kovalev Braginsky O.A,
Lopaev D.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
, Vasilieva A.,
and S Zyryanov D.Voloshin
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 45, с. 015201-10
DOI
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
van Kaampen Maarten
,
Glushkov D.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
Sergey Zyryanov
,
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Mikhail Baklanov
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 57, № 8
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 37, № 10, с. 881-889
DOI
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
Malykhin E.M.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Braginskii O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 66, № 2, с. 184-189
DOI
2011
Surface recombination of oxygen atoms in O-2 plasma at increased pressure: I. The recombination probability and phenomenological model of surface processes
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, № 1, с. 015201
DOI
2011
Surface recombination of oxygen atoms in O-2 plasma at increased pressure: II. Vibrational temperature and surface production of ozone
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, № 1, с. 015202
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
, Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 109, № 4, с. 043303
DOI
2011
The structure of thin carbon films deposited at 13.5 nm EUV irradiation
Malykhin E.M.
,
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 66, № 1, с. 54-58
DOI
2010
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Dmitry Voloshin
,
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
,
Anna Vasilieva
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
, том 55, № 7
2010
Study of spatial distributions of F, H and CF2 radicals in DF CCP discharge in Ar/CF4 and Ar/CHF3 mixtures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
THIRD INTERNATIONAL WORKSHOP AND SUMMER SCHOOL ON PLASMA PHYSICS 2008 Book Series: Journal of Physics Conference Series
, том 207, № Article Number: 012014
DOI
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 108, № 7, с. 073303
DOI
2009
Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Klopovskiy Konstantin S.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
, Shamiryan Denis,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696
DOI
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Malykhin Evdokim M.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Zyryanov Sergey M.
, Baklanov Mikhail R.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference
, том 54, № 12
2008
High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 41, № 17, с. 172008
DOI
2008
Light Efficiency of Cathodoluminescent Screens Excited by a Runaway Electron Beam
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Saenko V.B.
,
Timofeev M.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 34, № 11, с. 969-977
DOI
2008
UV Absorption of Vibrationally Excited Ozone
Lopaev D.V.
, Malykhin E.M.,
Namiot V.A.
в журнале
Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 41, с. 085104
DOI
2008
UV absorption of vibrationally excited ozone
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Namiot V.A.
в журнале
Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 41, № 8, с. 085104
DOI
2008
UV detectors based on nanocrystalline ZnO films
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
, Pashchenko P.V., Pirogov V.G.,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Trifonov A.S.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 53, № 8, с. 1065-1069
DOI
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Ivanov Vladimir V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Olevanov Michael A.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
2007
Measurements of the gas temperature in an oxygen plasma by Spectroscopy of the O-2(b(1)Sigma(+)(g))-> O-2(X-3 Sigma(-)(g)) transition
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 33, № 6, с. 510-520
DOI
2007
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 40, № 21, с. 6571-6582
DOI
2007
Study of Polycrystalline Boron-Doped Diamond Films by Raman Spectroscopy and Optical Absorption Spectroscopy
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Minakov P.V.
,
Pirogov V.G.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 52, № 11, с. 1471-1474
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 39, № 24, с. 5183-5190
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 39, № 24, с. 5191-5200
DOI
2006
Discharged Generator of Singlet Oxygen for Oxygen-Iodine Laser. Transport Kinetics of O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(g+)) Molecules, and O(3P) Atoms in Ar:O2 and He:O2 Flows Excited by a 13.56 MHz Discharge
Braginsky O.V.
,
Vasil’eva A.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Laser Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 16, № 8, с. 1161-1174
DOI
2006
Experimental and Theoretical Study of RF Plasma at Low and High Frequency
Rakhimova T.V.
,
Braginsky O.V.
,
Ivanov V.V.
,
Kim T.K.
,
Kong J.T.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2006
Experimental and theoretical study of RF plasma at low and high frequency
Rakhimova T.V.
,
Braginsky O.V.
,
Ivanov V.V.
,
Kim T.K.
,
Kong J.T.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Proshina O.V.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2006
Investigation of H−Production in Plasma of DC Glow Discharge
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, с. 162-168
DOI
2006
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
Белянин А.Ф.
,
Кривченко В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Павлушкин Л.В.
,
Пащенко П.В.
, Пирогов В.Г.,
Поляков С.Н.
,
Суетин Н.В.
,
Сущенцов Н.И.
в журнале
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
, № 6, с. 48-55
2005
Dynamic Chaos: Examination of Classic and Quantum Systems from the General Standpoint Phenomenon of “Selective Predictability"
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Namiot V.A.
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 341, № 1, с. 1-8
DOI
2005
Dynamic chaos: Examination of classic and quantum systems from the general standpoint - Phenomenon of "selective predictability"
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Namiot V.A.
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 341, № 1-4, с. 1-8
DOI
2005
Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
Braginskii O.V.
,
Vasil’eva A.N.
,
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Quantum Electronics
, издательство
Turpion - Moscow Ltd.
(United Kingdom)
, том 35, № 1, с. 21-26
DOI
2005
Kinetics of O-2(b (1)Sigma(+)(g)) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
, Popov N.A.,
Rakhimova T.V.
,
Poroykov A.Y.
,
Carroll D.L.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b (1)Sigma(+)(g)) in Oxygen RF Discharges
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
, Popov N.A.,
Rakhimova T.V.
,
Poroykov A.Yu
,
Carroll D.L.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b1Sg) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Poroykov A.Yu
,
Carroll D.L.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, с. 2360-2370
2005
Negative Ion Destruction by O(3P) Atoms and O2(a1Δg) Molecules in an Oxygen Plasma
Belostotsky S.G.
, Economou D.J.,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 14, № 3, с. 532-542
DOI
2005
Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
Vasil’eva A.N.
,
Klopovski K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
, Popov N.A.,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
Vasil'eva A.N.
,
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
Braginskiy O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 19, с. 3626-3634
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
Braginskiy O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Klopovskiy К.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 19, с. 3609-3625
DOI
2004
Diagnostics of Heterogeneous Processes with the Participation of Radicals by the Time-Resolved Actinometry
Lopaev D.V.
, Smirnov A.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 30, № 10, с. 882-893
DOI
2004
Effect of the Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum on the Dissociation of Oxygen Molecules in a Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 30, № 6, с. 542-548
DOI
2004
On the Possibility of O2(a1g) Production by a Non-Selfsustained Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Vasiljeva А.N.,
Klopovskiy К.S.
,
Kovalev А.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova Т.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 37, № 17, с. 2455-2468
DOI
2003
Structure and Dynamics of a Pulsed DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 31, № 4, с. 528-541
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: I. Production of CF2 and CF via Electron-Impact Dissociation
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 28, № 3, с. 229-242
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: II. Production and Loss of CF2 and CF in the Processes of Fluorocarbon Polymerization
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 28, № 3, с. 243-257
DOI
2000
Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum in a Glow-Discharge in Pure O2: I. Nonlocal Character of the Electron Distribution Function
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 26, № 11, с. 972-979
DOI
2000
Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum in a Glow-Discharge in Pure O2: II. Actinometry of O(3P) Atoms in a Plasma at Low Gas Pressures
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 26, № 11, с. 980-990
DOI
2000
On the Possibility of Using ‘Dusty’ Plasma for X-Ray Generation by Ultra-Relativistic Electrons
Namiot V.A.
,
Lopaev D.V.
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 266, с. 446-449
DOI
2000
On the possibility of using 'dusty' plasma for X-ray generation by ultra-relativistic electrons
Namiot V.A.
,
Lopaev D.V.
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 266, № 4-6, с. 446-449
DOI
1999
Experimental and Theoretical Investigation of Oxygen Glow Discharge Structure at Low Pressures
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 27, № 5, с. 1279-1287
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(a1Delta) Molecules in H2:O2 Mixtures
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 23, с. 3004-3012
DOI
1999
Heterogeneous quenching of O2(1Deltag) molecules in H2:O2 mixtures
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 23, с. 3004-3004
DOI
1999
Heterogeneous quenching of O2(1Dg) molecules in H2 : O2 mixtures
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
, Popov N.A., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, с. 3004-3012
1999
Production of CF2 radicals in a gas-discharge plasma through the electron-impact dissociation of CF4 molecules
Ivanov V.V.
,
Klopovskii K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetsky D.I.
,
Volynets V.N.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 8, с. 657-665
1999
Quenching of O2((1)Delta (g)) Molecules in a Hydrogen-Oxygen Mixture in a Fast-Gas-Flow Reactor
Balandin A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 11, с. 893-904
1997
The Mechanizm of Singlet Oxygen Emission in the Upper Atmosphere
Vlasov M.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Cosmic Research (English translation of Kosimicheskie Issledovaniya)
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 35, № 3, с. 219-225
1997
The mechanism of singlet oxygen emission in the upper atmosphere
Vlasov M.N.,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Cosmic Research (English translation of Kosimicheskie Issledovaniya)
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 35, № 3, с. 219-225
1996
Experimental Investigation of Nonlocality Effects in the Electron Energy Spectrum in an Electronegative Gas
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 63, № 7, с. 537-542
DOI
1995
New Mechanism by Which Singlet Oxygen is Produced in the Processes with the Participation of Electronically-Vibrationally Excited Ozone Molecules
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 80, № 4, с. 603-613
1995
New Mechanism of Singlet Oxygen Production in Processes with Participation of Electronically and Vibrationally Excited Ozone Molecules
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimov T.V.
в журнале
JETF
, том 80, № 4, с. 603-613
1995
Новый механизм образования синглетного кислорода в процессах с участием колебательно-возбужденных молекул озона
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Журнал экспериментальной и теоретической физики
, том 107, № 4, с. 1080-1099
1993
Low-pressure RF discharge in electronegative gases for plasma processing
Feoktistov V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Nuclear Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 200, № 3, с. 309-314
DOI
1992
The Role of Vibrationally Excited Ozone in the Formation of Singlet Oxygen in a Oxygen-Nitrogen Plasma
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimov T.V.
в журнале
Sov.J. Plasma Phys. (USA)
, том 18, № 12, с. 834-839
1991
Effectiveness of the formation of singlet oxygen in a non-self-maintaining discharges in mixtures of O2 with noble gases
Vasil'eva A.N.
,
Gulayev K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
в журнале
High Temperature
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 29, № 1, с. 54-57
1991
Эффективность образования синглетного кислорода в несамостоятельном разряде в смесях O2 с благородными газами
Васильева А.Н.
,
Гуляев К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
в журнале
ТВТ
, том 29, № 1, с. 56-59
1989
Formation of Singlet Oxygen in Oxygen-Nitrogen Plasma of Beam-Driven Discharge
Blyablin A.A.
,
Vasilieva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
в журнале
Soviet journal of plasma physics
, том 15, № 8, с. 587-589
1989
Образование синглетного кислорода в кислородно - азотной плазме несамостоятельного разряда
Бляблин А.А.
,
Васильева А.Н.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 15, № 8, с. 1012-1015
Статьи в сборниках
2019
Analysis of nitrogen dissociation in nitrogen direct-current glow discharge
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
в сборнике
NONEQUILIBRIUM PROCESSES: VOLUME 1 KINETICS AND PLASMA
, место издания
TORUS PRESS Moscow
, том 1, с. 39-50
2019
The analysis of N2 dissociation in nitrogen direct-current glow discharge
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
в сборнике
NONEQUILIBRIUM PROCESSES: VOLUME 1 KINETICS AND PLASMA
, место издания
TORUS PRESS Moscow
, том 1, с. 39-50
DOI
2016
Взаимодействие озона с поверхностью диэлектрика в условиях обработки плазмой
Корса С.Я.
,
Лопаев Д.В.
,
Ткаченко С.Н.
,
Ткаченко И.С.
в сборнике
статей 34 Всероссийской конференции и семинара "Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии". 29-30 июня
, серия
ISBN 978-5-317-05464-9,
, место издания
МАКС Пресс Москва
, с. 280-285
2014
Виртуальный датчик потока и энрегии ионов на ВЧ электроде в высокочастотной плазме низкого давления
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Зырянов С.М.
в сборнике
Сборник материалов всероссийской конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2014
, серия
ISBN 978-5-7882-1578-5 и ISBN 978-5-7882-1579-2
, место издания
Изд-во: КНИТУ Казань
, том 1, с. 311-314
2014
Механизм диссоциации N2 и кинетика атомов N(4S) в плазме чистого азота
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
в сборнике
Сборник материалов всероссийской конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2014
, серия
ISBN 978-5-7882-1578-5 и ISBN 978-5-7882-1579-2
, место издания
Изд-во: КНИТУ Казань
, том 1, с. 199-203
2013
Comparison of H2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
Dolgov A.
,
Lopaev D.
,
Rachimova T.
,
Kovalev A.
,
Vasilyeva A.
, Lee C.J.,
Krivtsun V.
,
Yakushev O.
, Bijkerk F.
в сборнике
arXiv preprint arXiv:1310.4057
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Sergey Zyryanov
,
Mikhail Baklanov
в сборнике
MRS Online Proceedings Library
, издательство
Cambridge University Press
(United Kingdom)
, том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
Yakushev O.F.
в сборнике
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
, серия
7
, место издания
Paris, France
, том 55
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Malykhin E.M.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Materials Research Society Symposium Proceedings
, место издания
Materials Research Society
, том 1156
DOI
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 362
2009
The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
Braginsky O.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 39
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan
, место издания
San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
2008
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Шамирян Д.
в сборнике
Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново)
, место издания
Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново
, том 2, с. 506-509
2006
Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasma in Argon
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
, Ivanov V.V.,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Olevanov M.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
High Efficiency Singlet Oxygen Generator (SOG) Based on RF Discharge
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Olevanov M.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Investigation of the Spatial Distribution Evolution of Electron Temperature in Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasmas in Ar/O2 mixture over the RF Period
Belostotsky S.G.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Plasma Cleaning of Multilayer Coatings from Carbon and Tin Contaminations
Ivanov V.V.,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
в сборнике
International EUVL Symposium, 15 – 18 October 2006, Barcelona, Spain
, место издания
Barcelona, Spain
2006
Possible Mechanism of “Additional” Production of Hydrogen Negative Ions in a H2 Glow Discharge
Belostotsky S.G.
,
Economou D.J.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Kolobyanin Yu V.
в сборнике
Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006
, место издания
Gmunden, Austria
DOI
2006
Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kolobyanin Yu V.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
San-Francisco
DOI
2005
Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
AIAA Toronto, Canada
, с. 2005-4918
DOI
2005
Investigation of H- Formation in Plasma of DC Glow Discharge
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXVII ICPIG), July 18 - 22 2005, Eindhoven, The Netherlands
, место издания
Eindhoven, The Netherlands
, с. 03-336
2005
New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
Braginsky O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
, Savin Yu V.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 238-242
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Braginsky O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Popov N.A.
в сборнике
Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004
, место издания
AIAA Portland, Oregon, USA
, с. 2004-2445
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland
, место издания
Bunratty, Ireland
2004
Эмиссионная модуляционная спектроскопия фторуглеродной плазмы
Белостоцкий С.Г.
,
Лопаев Д.В.
в сборнике
Материалы ФНТП-2004, Петрозаводск
, том 2, с. 23-30
2003
Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
AIAA Orlando, Florida USA
, с. 23-26
DOI
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. I. Production of O2(a(1)Delta(g)) in Non-Selfsustained Discharge Controlled by Electron Beam
Kovalev A.S.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilyeva A.N.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 41-42
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. II. The O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(+)(g)) Production in Glow Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 39-40
2002
Non-equilibrium heterogeneous processes in plasma with oxygen atoms on a quartz surface: experimental results and modeling
Lopaev D.V.
, Smirnov A.V.
в сборнике
Proceedings of 3rd International Symposium on Theoretical and Applied Plasma Chemistry 2002, Plyos, Russia
, место издания
Plyos, Russia
, том 1, с. 213-216
2002
Polarizational Mechanism of Dusty Particles Interaction in Plasma
Lopaev D.
,
Mankelevich Y.
,
Olevanov M.
,
Rakhimova T.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 63-64
2002
Production and Loss of CF2 and CF Radicals at the Polymerization in CF4 Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of SPIE: Selected research papers on “Spectroscopy of Non-equilibrium Plasma at Elevated Pressures” ed. by Vladimir N. Ochkin
, том 4460, с. 74-89
DOI
2002
Surface Recombination of O and H Atoms under the Discharge Conditions
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
, Smirnov A.V.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France
, том 1, с. 171-172
2002
Диагностика неравновесных гетерогенных процессов в плазме с участием атомов О и Н
Лопаев Д.В.
, Смирнов А.В.
в сборнике
Материалы 6-ой Международной научной конференции «Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем», Иваново-Плес, 27 мая-2 июня 2002
, место издания
Иваново-Плёс
, с. 285-289
2002
Неравновесные гетерогенные процессы в плазме с участием атомов кислорода на кварце: экспериментальные результаты и моделирование
Лопаев Д.В.
, Смирнов А.В.
в сборнике
Сборник материалов III Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии (ISTAPC-2002), 16-21 сентября 2002, Плес, Россия
, место издания
Плёс
, том 1, с. 213-216
1999
CF- and CF2- Radicals Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 14-th International Symposium on Plasma Chemistry, August 2-6 1999, Prague, Czech Republic
, место издания
Prague, Czech Republic
, том 5, с. 2301-2306
1999
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 4, с. 39-40
1999
CF2 production by CF4 electron impact dissociation in gas discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS
, серия
NATO ADVANCED SCIENCE INSTITUTE SERIES, SUB-SERIES 3, HIGH TECHNOLOGY
, место издания
SPRINGER, PO BOX 17, 3300 AA DORDRECHT, NETHERLANDS
, том 67, с. 471-472
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(1Delta(g)) in H2:O2 Mixture
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 1, с. 9-10
1999
Production and Decay of CF Radicals in CF4 Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 4, с. 65-66
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in Glow DC Discharge in Pure O2 and H2
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasma. NATO Science Series. Subseries 3: High Technology. Ed. by H.Schluter and A.Shivarova
, серия
3. High Technology
, место издания
Springer Netherlands
, том 67, с. 495-496
DOI
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in H2 Glow DС Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 3, с. 73-74
1999
The Production of CF Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia
, место издания
Liptovsky Jan, Slovakia
, с. 176-177
1999
The Production of CF2 Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
, Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia
, место издания
Liptovsky Jan, Slovakia
, с. 178-179
1999
The Rate Constants of CF4 Dissociation by Electronic Impact with Production of CF2 and CF Radicals
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia
, место издания
Liptovsky Jan, Slovakia
, с. 180-181
1998
"Убегающие" электроны как эффективный источник радикалов
Иванов В.В.,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Суетин Н.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
Всероссийская научно-техническая конференция МИКРО- И НАНО- ЭЛЕКТРОНИКА 98, Звенигород
, том 1, с. 01-03
1998
CF2 Production by CF4 Electron Impact Dissociation in Gas Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasma. NATO Science Series. Subseries 3: High Technology. Ed. by H.Schluter and A.Shivarova
, серия
3
, том 67, с. 471-472
1998
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetskiy D.I.
,
Volynets V.N.
в сборнике
11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras
, серия
Part 1
, место издания
Low Tatras
, с. 98-101
1998
Investigation of Hetero- And Homogeneous Processes with O2(a1g) at Mixing H2 and O2 in a Fast-Flow Reactor
Balandin A.A.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras
, серия
Part 1
, место издания
Low Tatras
, с. 23-26
1998
Nonlocal Effects in Stationary and Non-Stationary Discharges
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, Ed. by U.Kortshagen and L.D.Tsendin
, серия
NATO Science Series B: Physics
, место издания
Springer USA
, том 367, с. 37-58
DOI
1998
Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 в плазме газового разряда
Иванов В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Словецкий Д.И.
,
Волынец В.Н.
в сборнике
Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 22-27 июня 1998
, место издания
Петрозаводск
, том 1, с. 30-34
1997
Experimental and Theoretical Investigation of Negative Ion Spatial Distribution in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 1, с. 86-87
1997
Experimental and Theoretical Study of the Non-Locality Effects of Electron Energy Spectrum in O2 DC Glow Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 2, с. 28-29
1997
Helicon Plasmas in Various Magnetic Field Configurations
Braginskiy O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 3, с. 76-77
1997
The Influence of the Low Energy Vibrational Excitation on the Electron Dissociative Attachment Coefficient in Pure Ozone
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 1, с. 88-89
1997
VUV Emission Generation at Helium Plasma Recombination
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Kopytin A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 3, с. 40-41
1996
Effect of Ion Heating in the Axial Field on the Electron and Ion Radial Profiles in CF4 DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetsky D.I.
,
Volynets V.N.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 169-170
1996
Formation of CF2 Radicals in Plasma of Pure CF4
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 333-334
1996
Recombination of O(3P) Atoms on the Tube Walls in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 77-78
1996
Spatial Distribution of Negative Ions in DC Discharge Plasma in Pure O2
Lopaev D.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 79-80
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Low Pressure DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 167-168
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Nonlocality Effects of Electron Energetic Spectrum in Oxygen Glow Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 121-122
1995
Vibrationally Excited Ozone in Oxygen DC Discharge. Its Influence on the Discharge Kinetics
Lopaev D.V.
в сборнике
ISTAPC-95, 22-26 мая 1995
, место издания
Иваново
, с. 882-90
1995
Образование и дезактивация синглетного кислорода в сильно неравновесных условиях
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
ФНТП-95, 20-26 июня 1995
, серия
1
, место издания
Петрозаводск
, с. 51-52
1995
Образование синглетного кислорода в процессах с участием электронно- и колебательно-возбужденного озона
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
ISTAPC-95, 22-26 мая 1995
, место издания
Иваново
, с. 46-49
1992
Efficiency of O2(а(1)Delta(g)) Excitation in Capacity RF Discharge in He:O2 Mixtures
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Ozerenko A.A.
в сборнике
ESCAMPIG XI, Abstracts of invited lectures and contributed papers
, серия
16F
, место издания
ESCAMPIG XI, St. Petersburg, Russia
, с. 223-224
1992
The Influence of the Vibrationally Excited Ozone Molecules on Singlet Oxygen Formation and Quenching
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
, Popov A.M.et al
в сборнике
ESCAMPIG XI, Abstracts of invited lectures and contributed papers
, серия
16F
, место издания
ESCAMPIG XI, St. Petersburg, Russia
, с. 73-74
1992
The Role of the Excited Ozone Molecules in O2(а(1)Delta(g)) Nightglow in the Upper Atmosphere
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
, Rakhimov A.T.et al
в сборнике
ESCAMPIG XI, Abstracts of invited lectures and contributed papers
, серия
16F
, место издания
ESCAMPIG XI, St. Petersburg, Russia
, с. 75-76
1991
Механизм эффективного возбуждения синглетного кислорода в азотно-кислородной плазме
Ковалев А.С.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
, и др.
в сборнике
VIII Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы
, место издания
Минск
, том 1, с. 41
1991
О возможности создания электро-разрядного генератора O2(а(1)Delta(g)) для кислородно-йодного лазера
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Озеренко А.А.
в сборнике
VIII Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы
, место издания
Минск
, том 2, с. 79-80
1990
Образование синглетного кислорода в послесвечении самостоятельного ВЧ разряда в смеси O2:N2
Каск А.Н.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Озеренко А.А.
, и др.
в сборнике
V Всесоюзная конференция по физике газового разряда
, место издания
Омск
, том 2, с. 37-38
1990
Образование синглетного кислорода в N2:O2 плазме несамостоятельного разряда
Васильева А.Н.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
в сборнике
V Всесоюзная конференция по физике газового разряда
, место издания
Омск
, том 1, с. 72-73
1990
Эффективность образования синглетного кислорода в несамостоятельном разряде в смесях кислорода с благородными газами
Васильева А.Н.
,
Гуляев К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
в сборнике
V Всесоюзная конференция по физике газового разряда
, место издания
Омск
, том 1, с. 70-71
1988
The Singlet Oxygen Generation in a Plasma of Non-self-sustained Discharge
Vasilieva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Poroykov A.Y.
в сборнике
ESCAMPIG IX, Abstracts of invited talks and contributed papers, 12H
, место издания
ESCAMPIG IX Lisbon, Portugal
, с. 163-164
1988
Спектроскопия синглетного кислорода в плазме газового разряда
Лопаев Д.В.
в сборнике
III Всесоюзная конференция «Теоретическая и прикладная оптика»
, место издания
Ленинград
, с. 150-151
Книги
2007
Физические методы исследования. Введение в лазерную спектроскопию. Учебное пособие
Лопаев Д.В.
место издания
МФТИ Москва
, ISBN 978-5-7417-0241-3, 76 с.
2004
Катодолюминесцентный источник света большой яркости и анализ возможностей повышения светоотдачи люминофорного покрытия. Препринт НИИЯФ МГУ – 2004 – 21/760
Белостоцкий С.Г.
, Муратов Е.А.,
Лопаев Д.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Саенко В.Б.
место издания
Изд-во учебно-научного центра довузовского образования (УНЦ ДО) Москва
, 17 с.
2000
Self-consistent numerical model for dc discharge in oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
место издания
Preprint of Institute of Nuclear Physics of Moscow State University MSU Press
, ISBN 2000-16/620, 29 с.
2000
Самосогласованная численная модель разряда постоянного тока в кислороде. Препринт НИИЯФ МГУ №2000-16/620
Иванов В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
место издания
Издательство МГУ Москва
, 29 с.
1998
Заселенность электронных состояний кислорода в реакции трехтельной рекомбинации О(3Р). 1998. Препринт НИИ ядерной физики МГУ, № 98-5/506
Дамбраускас С.Г.
,
Лопаев Д.В.
, Пирогов В.Г.,
Рахимов А.Т.
, Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
место издания
Издательство МГУ Москва
, 15 с.
1993
Образование и гибель синглетного кислорода в плазме. Роль электронно и колебательно возбужденных молекул озона
Лопаев Д.В.
место издания
Диссертация к.ф.-м.н Москва
, 224 с.
Доклады на конференциях
2022
ДИНАМИКА ТЕМПЕРАТУРЫ ЭЛЕКТРОНОВ И ПЛОТНОСТИ ПЛАЗМЫ В ДВУХЧАСТОТНОМ ВЧ ЕМКОСТНОМ РАЗРЯДЕ ЗА ВЧ-ПЕРИОД
(Устный)
Авторы:
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Шибанов Д.Р.
XIII Конференция "Современные средства диагностики плазмы и их применение"
, Москва, Россия, 7-9 декабря 2022
2022
Investigation of the interaction of ultrathin MoS2 films with H2, O2, and N2 plasma
(Устный)
Авторы:
Melezhenko D.E.
,
Lopaev D.V.
,
Zotovich A.I.
,
Voronina E.N.
X International Conference "Plasma Physics and Plasma Technology" (PPPT-10)
, Минск, Беларусь, 12-16 сентября 2022
2022
Монте-Карло моделирование гетерогенной рекомбинации в условиях плазмы
(Устный)
Авторы:
Зиганшин И.И.
,
Лопаев Д.В.
,
Денисова А.П.
XXIX Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2022"
, МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия, 11-22 апреля 2022
2021
Absolute O atom density measurements by actinometry: comparison to cavity ring-down spectroscopy
(Устный)
Авторы:
Baratte E.
,
Volynets A.
,
Lopaev D.
,
Moussi C.Si
,
Booth J.P.
,
Guaitella O.
74th Annual Gaseous Electronics Conference
, on-line, fully virtual conference, США, 4-8 октября 2021
2021
SiO2 sputtering by low energy ions
(Стендовый)
Авторы:
Shibanov D.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Zotovich A.
,
Bogdanova M.
,
Rakhimov A.
Micro- and nano engineering (MNE - 2021)
, Турин, Италия, 20-24 сентября 2021
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии
, Иваново, Россия, 13-17 сентября 2021
2021
Неинвазивное измерение газовой температуры в плазме кислорода
(Устный)
Авторы:
Зиганшин И.И.
,
Денисова А.П.
,
Лопаев Д.В.
XXVIII Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2021"
, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 12-23 апреля 2021
2021
Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Oliveira N.
,
Nahon L.
IS Plasma 2021
, Nagoya, Япония, 7-11 марта 2021
2020
КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Изюмов М.О.
,
Амиров И.И.
,
Рахимова Т.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020)
, Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
2020
A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS-QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
(Устный)
Авторы:
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev DV
,
Zyryanov SM
,
Rakhimova TV
,
Voloshin DG
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
International Symposium on the Physics of Ionized Gases
, Белград, Сербия, 24-27 августа 2020
2020
БЫСТРОЕ ТУШЕНИЕ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА АТОМАМИ O ОСНОВНОГО СОСТОЯНИЯ ПРИ ВЫСОКОМ РАЗОГРЕВЕ
(Стендовый)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Богданова М.А.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2020
ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОЛЬНОЙ ДОЛИ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ МОЛЕКУЛ КИСЛОРОДА В РАЗРЯДЕ O2 С ПОМОЩЬЮ ОПТИЧЕСКОЙ Э МИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
(Стендовый)
Авторы:
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Волынец А.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2019
Oxygen atom and negative ion densities and kinetics by cavity ringdown spectroscopy
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Zyryanov S.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Ritchie G.
The 72nd Annual Gaseous Electronics conference
, College Station, Texas, США, 28 октября - 1 ноября 2019
2019
Ion composition and energy spectra in Ar/H2 CCP discharges
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
,
Zyryanov S.
9th Radio-Frequency Discharge Workshop
, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
2019
Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
(Устный)
Авторы:
Jean-Paul Booth
,
Chatterjee Abhyuday
,
Guaitella Olivier
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Lopaev Dmitry
,
Zyruyanov S.
,
Rakhimova Tatyana
Journées de la Spectroscopie Moléculaire
, Кретей, Франция, 21-23 мая 2019
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
(Устный)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)
, Гренобль, Франция, 20-21 мая 2019
2019
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Drag C.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation
, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
2019
Изучение колебательного распределения N2 в плазме чистого азота промежуточного давления (10-100 Торр) с помощью спектроскопии поглощения
(Стендовый)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Попов Н.А.
,
Лопаев Д.В.
XLVI МЕЖДУНАРОДНАЯ (ЗВЕНИГОРОДСКАЯ) КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УПРАВЛЯЕМОМУ ТЕРМОЯДЕРНОМУ СИНТЕЗУ
, Звенигород, Россия, 18-22 марта 2019
2019
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Drag C.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Western C.
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-7)
, Hue, Вьетнам, 24 февраля - 1 марта 2019
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
Авторы:
JEAN-PAUL BOOTH
,
ABHYUDAY CHATTERJEE
,
OLIVIER GUAITELLA
,
DMITRY LOPAEV
,
LAURENT NAHON
,
TATYANA RAKHIMOVA
,
DMITRY VOLOSHIN
,
YURI MANKELEVICH
,
OLIVEIRA NELSON DE
,
SERGEY ZYRYANOV
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA)
, Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Прошина О.В.
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA)
, Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
The analysis of N2 dissociation in nitrogen DC glow discharge
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
The International Symposium on Nonequilibrium Processes, Plasma, Combustion and Atmospheric Phenomena (NEPCAP 2018)
, Sochi, Россия, 1-5 октября 2018
2018
Actinometry of O atoms with Kr at elevated pressures (10 - 100 Torr) in pure O2 discharge
(Устный)
Авторы:
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
International Conference on Combustion Physics and Chemistry
, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
2018
Features of oxygen metastable kinetics in O2 plasma with increasing pressure
(Устный)
Авторы:
Lopaev D.V.
,
Volynets A.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
International Conference on Combustion Physics and Chemistry
, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
(Устный)
Авторы:
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
International Conference on Combustion Physics and Chemistry
, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
2018
O2 X, a and b densities and kinetics in pure O2 DC discharges: VUV absorption, IR emission and Cavity Ring Down Spectroscopy measurements
(Стендовый)
Авторы:
Chatterjee A.
,
Booth J.P.
,
Guaitella O.
,
De Oliviera N.
,
Zyryanov S.
,
Western C.M.
,
Gianella M.
,
Press S.
,
Lopaev D.
,
Nahon L.
ESCAMPIG XXIV, Glasgow, Scotland, July 17-21, 2018
, Глазго, Великобритания, 17-21 июля 2018
2017
Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Morillo-Candas A.S.
,
Drag C.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
d’Oliveira N.
,
Nahon L.
The 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2017)
, Наго, Япония, 4-7 декабря 2017
2017
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Rakhimov A.
,
Lopaev D.
,
Volynets A.
70th Annual Gaseous Electronics Conference
, Pittsburgh, Pennsylvania, США, 6-10 ноября 2017
2017
Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: An experimental study
(Устный)
Авторы:
Guaitella O.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Western C.
,
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Zyryanov S.
,
Lopaev D.
23rd International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-2017)
, Монреаль, Канада, 30 июля - 4 августа 2017
2017
Актинометрия атомов O, N и F
(Стендовый)
Авторы:
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Волынец А.В.
,
Рахимов А.Т.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Диссоциация О2 электронным ударом в плазме
(Устный)
Авторы:
Guaitella O.
,
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Лопаев Д.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Комплексное изучение объемной плазмохимии емкостных ВЧ-разрядов в смесях CF4/Ar и CHF3/Ar
(Устный)
Авторы:
Зотович А.И.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Поток и энергетическое распределение ионов на электроде в двухчастотном ВЧЕ разряде
(Устный)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Рахимова Т.В.
,
Лопаев Д.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Pore Surface Grafting of Porous Low-K Dielectrics by Selective Polymers
(Устный)
Авторы:
Askar Rezvanov
,
Liping Zhang
,
Mitsuhiro Watanabe
,
Mikhail Krishtab
,
Lin Zhang
,
Alexey Zotovich
,
Sergey Zyryanov
,
Dmitriy Lopaev
,
Nigel Hacker
,
Patrick Verdonck
,
Silvia Armini
,
Evgeny Gornev
,
de Marneffe Jean-Francois
2017 MRS Spring Meeting
, Phoenix, Arizona, США, 17-21 апреля 2017
2016
"Virtual IED sensor" at an rf-biased electrode in low-pressure plasma
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.V.
69th Annual Gaseous Electronics Conference
, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
2016
Actinometry of O, N and F atoms
(Устный)
Авторы:
ANDREY VOLYNETS
,
DMITRY LOPAEV
,
ALEXANDER RAKHIMOV
,
SERGEY ZYRYANOV
,
ALEXEY ZOTOVICH
69th Annual Gaseous Electronics Conference
, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
2016
Multi-step reactions mechanism of F and N atoms interactions with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016)
, Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov M.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Comprehensive study of CF4/Ar and CHF3/Ar DF CCP discharges
(Устный)
Авторы:
Lopaev D.V.
,
Zotovich A.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Proshina O.V.
ESCAMPIG XXIII
, Словакия, 12-16 июля 2016
2016
Взаимодействие озона с поверхностью диэлектрика в условиях обработки плазмой
(Стендовый)
Авторы:
Корса С.Я.
,
Ткаченко И.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Ткаченко С.Н.
34-ая Всероссийская конференция по озону «Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии»
, Москва, Россия, 29-30 июня 2016
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.
,
Voronina E.
,
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu
,
Rakhimova T.
,
Zyryanov S.
,
Proshina O.
,
Baklanov M.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Zyryanov S.
,
Kurchikov K.
,
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu
,
Palov A.
,
Rakhimova T.
,
Voronina E.
,
Novikova N.
,
Baklanov M.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Comparison between Vacuum Ultra-Violet emission of CF4/Ar and CF3I/Ar plasmas in CCP chamber for low-k etching
(Стендовый)
Авторы:
Zotovich Alexey I.
,
Otell Ziad el
,
de Marneffe Jean-Francois
,
Baklanov Mikhail R.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Proshina Olga V.
PESM 2015
, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
2015
Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperature
(Устный)
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kurchikov K.A.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Baklanov M.R.
PESM 2015
, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
2014
Ion flux and energy virtual sensor for measuring ion flux and energy distribution at a RF-biased electrode in ICP reactor (RIE-mode)
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.A.
,
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.V.
6-th International Workshop and Summer School on Plasma Physics
, Kiten Bulgaria, Болгария, 2014
2014
Mechanism of N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms im pure nitrogen plasma
(Устный)
Авторы:
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
6-th International Workshop and Summer School on Plasma Physics
, Kiten Bulgaria, Болгария, 2014
2014
Механизм диссоциации N2 и кинетика атомов N(4S) в азотной плазме среднего давления
(Стендовый)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
МЕЖДУНАРОДНАЯ (ЗВЕНИГОРОДСКАЯ) КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УПРАВЛЯЕМОМУ ТЕРМОЯДЕРНОМУ СИНТЕЗУ
, Звенигород, 2014
2013
Oxygen Atom Recombination in the Presence of Singlet Molecular Oxygen
(Стендовый)
Авторы:
Heaven M.C.
,
Azyazov V.N.
,
Chukalovsky A.A.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
32nd International Symposium on Free Radicals
, Potsdam, Германия, 21-26 июля 2013
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
Авторы:
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil'eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Kurchikov K.
,
Baklanov M.R.
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)
, Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
2006
Возможный механизм «дополнительного» образования отрицательных ионов водорода в тлеющем разряде в H2
Авторы:
Белостоцкий С.Г.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Economou A.N.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Высокоэффективный генератор синглетного кислорода (SOG) на ВЧ разряде
Авторы:
Прошина О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Васильева А.Н.
,
Рахимова Т.В.
,
Брагинский О.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Олеванов М.А.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Изучение процесса изменения пространственного распределения температур электронов в одно- и двухчастотной емкостно-связанной плазме ВЧ разряда в смеси Ar/O2 в течение периода ВЧ колебаний
Авторы:
Белостоцкий С.Г.
,
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Одно- и двухчастотная емкостно-связанная плазма ВЧ разряда в аргоне
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Иванов В.В.
,
Ковалев А.С.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Лопаев Д.В.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Плазменная очистка многослойного покрытия от загрязнений углеродом и оловом
Авторы:
Иванов В.В.
,
Ковалев А.С.
,
Брагинский О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Лопаев Д.В.
International EUVL Symposium, 15-18 October 2006
, Barcelona, Spain, Испания, 2006
2006
Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
(Стендовый)
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Олеванов М.А.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2004
Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Попов Н.А.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004
, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
2004
Изучение распада отрицательных ионов при воздействии атомов O(3P) и молекул O2(a1Δg) в кислородной плазме.
Авторы:
Белостоцкий С.Г.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004
, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
2004
Поверхностная рекомбинация атомов O и H в разряде.
Авторы:
Смирнов А.В.
,
Лопаев Д.В.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004
, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
1988
The singlet oxygen generation in a plasma of nonselfsustained discharge
Авторы:
Vaslieva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Poroykov A.Yu
ESCAMPIG IX
, 1988
Тезисы докладов
2022
Investigation of the interaction of ultrathin MoS2 films with H2, O2, and N2 plasma
Melezhenko D.E.
,
Lopaev D.V.
,
Zotovich A.I.
,
Voronina E.N.
в сборнике
Proceedings of the X International Conference "Plasma Physics and Plasma Technology" (PPPT-10)
, место издания
Kovcheg Minsk
, тезисы, с. 390-393
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
в сборнике
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии: сборник трудов
, место издания
Иваново Иван. гос. хим.-технол
, тезисы, с. 40
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
Voronina E.N.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
в сборнике
Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France
, место издания
MINATEC Grenoble, France
, тезисы, с. 52-53
2014
Механизм диссоциации N2 и кинетика атомов N(4S) в азотной плазме среднего давления
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
в сборнике
Тезисы докладов XLI Международной конференции по физике плазмы и УТС. (Звенигород, 10 - 14 февраля 2014)
, место издания
Москва
, том 1, тезисы, с. 199-199
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Workshop on Radio-Frequency Discharges
, место издания
All Hallows College, Dublin, Ireland
, тезисы, с. 28
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Book of Abstracts of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
, место издания
Praha
, тезисы, с. 2133-2136
2007
Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts
, место издания
ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic
, тезисы, с. 2114-2117
2004
Investigation of Negative Ion Destruction by O(3P) Atoms and O2(a(1)Δ(g)) Molecules in Oxygen Plasma
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland
, место издания
American Physical Society USA
, том 1, тезисы, с. 1004
2004
New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
Savin Yu V.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts
, место издания
Prague, Czech Republic
, тезисы, с. 124-124
2004
Pollution-free efficient source of visible light of high brightness on runaway electrons
Belostotsky Sergey
,
Lopaev Dmitriy
,
Muratov Evgeniy
,
Rakhimov Alexander
,
Saenko Vladimir
в сборнике
57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland
, место издания
American Physical Society USA
, том 1, тезисы, с. 2010
2004
Surface Recombination of O and H Atoms in the Discharge Conditions
Lopaev D.V.
, Smirnov A.V.
в сборнике
57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland
, место издания
American Physical Society USA
, том 1, тезисы, с. 2001
1992
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
Feoktistov V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts
, место издания
The Hague, The Netherlands
, тезисы, с. 174
1990
The Efficiency of the Singlet Oxygen Generation in the Non-Self-sustained Discharge Noble Gas Plasma
Vasilieva A.N.
,
Gulyaev K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
в сборнике
Abstracts of invited talks and contributed papers
, серия
14E
, место издания
Orleans, France
, тезисы, с. 264-265
1990
The Singlet Oxygen Formation in Self-Sustained RF Discharge Afterglow in N2:O2 Mixture
Kask A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
, Ozerenko A.A.et al
в сборнике
Abstracts of invited talks and contributed papers
, серия
14E
, место издания
Orleans, France
, тезисы, с. 233-234
НИРы
22 апреля 2022 - 30 сентября 2023
Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Кожин В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Скурихин А.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
20 мая 2019 - 31 декабря 2020
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Шибанов Д.Р.
3 декабря 2018 - 3 января 2021
Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
Руководитель:
Амиров И.И.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зотович А.И.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Горлачев Е.С.
,
Изюмов М.О.
,
Куприянов А.Н.
,
Наумов В.В.
,
Чукаловский А.А.
3 декабря 2018 - 3 января 2021
Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Лопаев Д.В.
Ответственные исполнители:
Волынец А.В.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Манкелевич Ю.А.
10 октября 2018 - 1 октября 2020
Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Зырянов С.М.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.
,
Зотович А.И.
,
Чукаловский А.А.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
1 января 2018 - 31 декабря 2020
Договор о сотрудничестве между НИИЯФ МГУ и Университетом Твенте
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Лопаев Д.В.
1 января 2017 - 31 декабря 2019
Кинетика электронно-возбужденных частиц и быстрый нагрев газа в послесвечении импульсных разрядов в азоте и химически активных средах
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Попов Н.А.
Ответственные исполнители:
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Волынец А.В.
,
Чукаловский А.А.
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Зотович А.И.
,
Иванов А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Палов А.П.
,
Сычева А.А.
1 января 2016 - 31 декабря 2018
Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Ковалев А.С.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шибанов Д.Р.
,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов Н.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Ястребов А.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В.
,
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
КЛАВДИЕВ В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
25 февраля 2011 - 27 февраля 2013
Кинетика электронно-возбужденных частиц в послесвечении импульсных разрядов в химически активных средах
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Попов Н.А.
Участник НИР:
Лопаев Д.В.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кожин В.А.
,
Кривченко В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Харин В.Ю.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
1 января 2009 - 31 декабря 2011
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов при взаимодействии плазмы с новыми пористыми материалами с низкой диэлектрической константой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Ковалев А.С.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
1 января 2008 - 31 декабря 2010
Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Малыхин Е.М.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
Патенты
2016
Способ измерения плотности электронов в плазме методом оптической спектроскопии
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Ястребов А.А.
#2587468, 20 июня
2012
Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of a lithographic apparatus
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Banine V.Y.
,
Ivanov V.V.
,
Koshelev K.N.
,
Moors J.H.J
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
#United States Patent 8317929, 27 ноября
2012
Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of a lithographic apparatus
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Banine V.Y.
,
Ivanov V.V.
,
Koshelev K.N.
,
Moors J.H.J
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
#United States Patent 8317929, 27 ноября
2011
IMPRINT LITHOGRAPHY
Авторы:
Wuister S.F.
,
Banine V.Y.
,
Den Boef A.J.
,
Kruijt-Stegeman Y.W.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Glushkov D.A.
,
Yakunin A.M.
,
Koole R.
#US2011226735 (A1), 22 сентября
2011
LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING ELECTRICAL DISCHARGE GENERATOR AND METHOD FOR CLEANING ELEMENT OF LITHOGRAPHIC APPARATUS
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Banine V.Y.
,
Ivanov V.V.
,
Koshelev K.N.
,
Moors J.H.J
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
#JP2011082551 (A), 21 апреля
2011
Method for cleaning an element of lithographic apparatus
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Banine V.Y.
,
Ivanov V.V.
,
Koshelev K.N.
,
Moors J.H.J
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
#EP1764653, 5 апреля
2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Авторы:
Ivanov V.V.
,
Banine V.Y.
,
Bleeker A.J.
,
Koshelev K.N.
,
Antsiferov P.S.
,
Krivtsun V.M.
,
Lopaev D.V.
#United States Patent 7872244, 18 января
2009
SINGLET OXYGEN GENERATOR BASED ON HIGH-FREQUENCY DISCHARGE IN GAS STREAM
Авторы:
Kovalev A.S.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasileva A.N.
,
Braginskij O.V.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich J.A.
#RU2369950 (C2) , 10 октября
2009
METHOD FOR MEASUREMENT OF RADICAL CONCENTRATION IN GAS FLOW
Авторы:
Kovalev A.S.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasileva A.N.
,
Braginskij O.V.
,
Lopaev D.V.
#RU2363941 (C1) , 10 августа
2009
LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
Авторы:
IVANOV V.V.
,
BANINE V.
,
BLEEKER A.
,
KOSHELEV K.N.
,
ANTSIFEROV P.S.
,
KRIVTSUN V.M.
,
LOPAEV D.V.
#WO2009018933, 13 февраля
Награды и премии
2021
Премия по Программе развития МГУ
Лауреат:
Лопаев Дмитрий Викторович
МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия
2020
Премия по Программе развития МГУ
Лауреат:
Лопаев Дмитрий Викторович
МГУ, Россия
2018
Премия по Программе развития МГУ
Лауреат:
Лопаев Дмитрий Викторович
МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия
Диссертация
1993
Образование и гибель синглетного кислорода в плазме. Роль электронно и колебательно возбужденных молекул озона
Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
Автор:
Лопаев Д.В.
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научный руководитель:
Ковалев А.С.
, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д 501.001.45
при МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководство дипломными работами
2022
Поверхностная рекомбинация О и Н атомов в плазме смесей О2:H2, O2:N2 и H2:N2
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Зиганшин И.И., (Магистр)
2022
ИССЛЕДОВАНИЕ ДИНАМИКИ ПАРАМЕТРОВ СУБМИКРОСЕКУНДНОЙ ИМПУЛЬСНОЙ ПЛАЗМЫ
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Батанов Дмитрий Сергеевич (Бакалавр)
2020
АКТИНОМЕТРИЯ АТОМОВ АЗОТА ПО АТОМАМ КРИПТОНА В РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА С ЧАСТИЧНОЙ МОДУЛЯЦИЕЙ
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Зиганшин И.И., (Магистр)
2017
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ОЗОНА С ПОВЕРХНОСТЬЮ ДИЭЛЕКТРИКА В УСЛОВИЯХ ОБРАБОТКИ ПЛАЗМОЙ
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Корса Святослав Ярославич (Магистр)
2015
Кинетика озона в импульсном тлеющем разряде в кислороде
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Корса Святослав Ярославич (Бакалавр)
2015
Деградация органoсиликатных пленок под действием ВУФ излучения
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Рахлинский Владислав Викторович (Бакалавр)
2013
Влияние атомов азота на механизмы ассоциативной ионизации в азотной плазме
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Волынец А.В., (Магистр)
2011
Изучение динамики модулированной азотной плазмы методом оптической эмиссионной спектроскопии
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Волынец А.В., (Бакалавр)
2006
Ультрафиолетовая спектроскопия колебательно-возбужденных молекул озона в плазме: теория и эксперимент
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Малыхин Евдоким Михайлович (Специалист)
2006
Влияние газовой температуры, объемных и поверхностных реакций на концентрацию атомарного кислорода в плазме чистого O2
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Зырянов Сергей Михайлович (Специалист)
2005
Исследование элементарных процессов с участием отрицательных ионов в плазме
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Белостоцкий Сергей Георгиевич (Специалист)
2005
Исследование поликристаллических алмазных пленок, легированных бором, методом адсорбционной и флуоресцентной спектроскопии
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Михеев Борис Константинович (Специалист)
2004
Исследование методом рамановской спектроскопии углеродных пленок , полученных с помощью технологии PECVD
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Кривченко Виктор Александрович (Специалист)
2000
Широкополосные источники в области ВУФ для фотоионизационной спектроскопии
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Смирнов Алексей Владимирович (Специалист)
2000
Зондовые измерения отрицательных ионов в низкотемпературной плазме
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Трубкин Александр Вячеславович (Специалист)
1998
Исследование кинетики взаимодействия молекул водорода с метастабильными молекулами O2((1)Delta g)
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Баландин Александр Алексеевич (Специалист)
1997
Исследование ВУФ излучения димеров гелия, возникающего при ударно-радиационной рекомбинации колебательно возбужденных ионов He2(+)(Nu)
Научный руководитель:
Лопаев Д.В.
Автор: Копытин Андрей Александрович (Специалист)